[其他]濕度測量儀無效
| 申請號： | 86204690 | 申請日： | 1986-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN86204690U | 公開（公告）日： | 1987-07-29 |
| 發明（設計）人： | 曹德福;駱如枋 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海冶金研究所 |
| 主分類號： | G01N27/22 | 分類號： | G01N27/22;G01W1/00 |
| 代理公司： | 中國科學院上海專利事務所 | 代理人： | 季良赳,沈德新 |
| 地址： | 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濕度 測量儀 | ||
【權利要求書】：
1、一種由Si-MOS型Al2O3濕度傳感器和電容測量儀構成的濕度測量儀，本實用新型的特征在于Si-MOS型Al2O3濕度傳感器中的氧化鋁是α相Al2O3，并采用能直接測量反映濕度變化的MOS電容值的正交分量法電容測量儀。
2、根據權利要求1所述的濕度測量儀，其特征在于正交分量法電容測量儀的信號源頻率為3～10KC／sec。
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