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[其他]用于表面材料合成的真空反應室無效

專利信息
申請號: 86204249 申請日: 1986-06-23
公開(公告)號: CN86204249U 公開(公告)日: 1987-04-15
發明(設計)人: 張弋飛 申請(專利權)人: 張弋飛
主分類號: C23C8/36 分類號: C23C8/36;C23C14/38
代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部 代理人: 包冠乾
地址: 北京市西*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 用于表面材料合成的真空反應室裝置,它可用來對工件表面進行滲非金屬元素或滲金屬等操作。該真空室壁不采用通冷卻水結構,而采用充填絕熱材料層的結構,反應室內設有熱交換器,風扇及滅弧電阻。反應室為分體式結構,由固定室和活動室組成。活動室可以沿導軌運動而與固定室分開或合緊。該真空反應室熱能損失小、升溫快。冷卻時能加快冷卻速度。提高工作效率,并且易于進行裝卸工件的操作以及易于進行檢修和保養。
搜索關鍵詞: 用于 表面 材料 合成 真空 反應
【主權項】:
1、用于表面材料合成的真空反應室,其特征在于,反應室壁帶有絕熱材料層,反應室內設有熱交換器及風扇。
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