[其他]用于表面材料合成的真空反應(yīng)室

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 86204249
• 申請(qǐng)日: 1986-06-23
• 公開（公告）號(hào): CN86204249U
• 公開（公告）日: 1987-04-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張弋飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 張弋飛
• 主分類號(hào): C23C8/36
• 分類號(hào): C23C8/36;C23C14/38
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利代理部
• 代理人: 包冠乾

1、用于表面材料合成的真空反應(yīng)室，其特征在于，反應(yīng)室壁帶有絕熱材料層，反應(yīng)室內(nèi)設(shè)有熱交換器及風(fēng)扇。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空反應(yīng)室裝置，其特征在于反應(yīng)室內(nèi)設(shè)置有滅弧電阻。

3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述真空反應(yīng)室，其特征在于反應(yīng)室體采用分體式結(jié)構(gòu)。

4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空反應(yīng)室，其特征在于它由固定室和活動(dòng)室兩部分構(gòu)成。

5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空反應(yīng)室，其特征在于活動(dòng)室?guī)в袧L輪、沿地面鋪設(shè)的導(dǎo)軌移動(dòng)而與固定室分開或合緊。

6、根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的真空反應(yīng)室，其特征在于，反應(yīng)室內(nèi)載物臺(tái)固定在固定室的內(nèi)壁上，載物臺(tái)下帶有的滾輪在設(shè)置在活動(dòng)室中的導(dǎo)軌內(nèi)作滾動(dòng)。