[其他]濺射涂層設備用的靶中的陰極/接地屏蔽配置無效
| 申請號： | 86107820 | 申請日： | 1986-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN86107820A | 公開（公告）日： | 1987-11-11 |
| 發明（設計）人： | 阿爾伯特·丹尼爾·格拉瑟 | 申請（專利權）人： | 西屋電氣公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人： | 王申,王憲模 |
| 地址： | 美國賓夕*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 一種濺射涂層設備用的靶，它包括一個在其上面設置了帶濺射靶物質(58)的表面的陰極(56)和一個由間隙(96)與陰極隔開的接地屏蔽(84)。間隙(96)填滿了一種即使在高濕度下也能防止間隙中產生電弧的電絕緣材料(102)。安裝在陰極表面的周邊部分(66)上的條板(90)形成一個連續的周圍凸緣(94)，它懸在間隙(96)入口和接地屏蔽的毗鄰邊緣(86)之上，從而防止濺射靶物質的松散屑片橋接間隙而使陰極與接地屏蔽短路。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 濺射 涂層 備用 中的 陰極 接地 屏蔽 配置 | ||
【主權項】：
1、一種濺射涂層設備用的靶，它包括一個陰極和一個接地屏蔽，陰極有一個在其上面配置了濺射靶物質的外表面，接地屏蔽與陰極有聯系，它對陰極的空間位置關系是使兩者之間形成一個將陰極和接地屏蔽互相隔開的間隙，這種靶的特征在于，該間隙(96)完全填滿了電絕緣材料(102)。
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