[其他]把光掩膜定位在印刷線路板上的裝置無效
| 申請號: | 86107270 | 申請日: | 1986-10-22 |
| 公開(公告)號: | CN86107270A | 公開(公告)日: | 1987-07-15 |
| 發明(設計)人: | 約翰·V·克羅寧 | 申請(專利權)人: | M和T化學股份有限公司 |
| 主分類號: | G03B27/20 | 分類號: | G03B27/20;G03B27/30;G03F9/00;H05K3/12 |
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人: | 辛哲生,蔡明軍 |
| 地址: | 美國新澤西*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | 一種用于將光掩膜敷在基片上的裝置。用輥子把光掩膜敷在基片上,用真空限制裝置在把光掩膜敷在基片上的過程中限制光掩膜,使其保持張力。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 光掩膜 定位 印刷 線路板 裝置 | ||
【主權項】:
1、一種用于在光敏接受元件上敷柔性光掩膜的裝置,包括:一外殼;用于支承外殼中的光敏接收元件的支承裝置;用于將柔性光掩膜一端固定在所述外殼上,與所述光敏接收元件對準的固定裝置;用于在光敏接收元件上敷柔性光掩膜的敷設裝置;其特征在于:在將柔性光掩膜敷在光敏接收元件上時靠張力保持所述柔性光掩膜的保持裝置,所述保持裝置與所述敷設裝置相離,并且在所述敷設裝置將柔性光掩膜敷在光敏接收元件上時位于所述敷設裝置附近并在所述敷設裝置和所述光掩膜的自由端之間。
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