[其他]把光掩膜定位在印刷線路板上的裝置

無效

• 申請號: 86107270
• 申請日: 1986-10-22
• 公開（公告）號: CN86107270A
• 公開（公告）日: 1987-07-15
• 發明（設計）人: 約翰·V·克羅寧
• 申請（專利權）人: M和T化學股份有限公司
• 主分類號: G03B27/20
• 分類號: G03B27/20;G03B27/30;G03F9/00;H05K3/12
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 辛哲生,蔡明軍

1、一種用于在光敏接受元件上敷柔性光掩膜的裝置，包括：

一外殼；

用于支承外殼中的光敏接收元件的支承裝置；

用于將柔性光掩膜一端固定在所述外殼上，與所述光敏接收元件對準的固定裝置；

用于在光敏接收元件上敷柔性光掩膜的敷設裝置；

其特征在于：

在將柔性光掩膜敷在光敏接收元件上時靠張力保持所述柔性光掩膜的保持裝置，所述保持裝置

與所述敷設裝置相離，并且

在所述敷設裝置將柔性光掩膜敷在光敏接收元件上時位于所述敷設裝置附近并在所述敷設裝置和所述光掩膜的自由端之間。

2、根據權利要求1所述的裝置，其特征還在于：所述保持裝置包括：用于在所述保持裝置和所述光掩膜之間保持滑動真空接觸的真空限制裝置。

3、根據權利要求2所述的裝置，其中敷設裝置包括一輥子。

4、根據權利要求3所述的裝置，其特征還在于：用于支承輥子和真空限制裝置的可動支座，該支座可移動地安裝在外殼上，引導輥子和真空限制裝置從光敏接收元件一端到另一端，以便輥子將柔性光掩膜壓到光敏接收元件上，同時通過真空限制裝置在柔性光掩膜上加以張力。

5、根據權利要求4所述的裝置，其特征還在于：用于沿外殼上的可動支座移動輥子和真空限制裝置的移動裝置。

6、根據權利要求1所述的裝置，其中：外殼包括至少一個設置在支承裝置下面一定距離處的光化燈，并還包括為燈供電的供電裝置。

7、根據權利要求6所述的裝置，其中：支承裝置可繞樞軸旋轉地固定在外殼上，供電裝置在支承裝置繞軸轉過180度時自動啟動。

8、根據權利要求1所述的裝置，還包括將光聚合物涂敷在所述光敏接收元件上的基片上的裝置。

9、根據權利要求1所述的裝置，其中所述固定裝置包括用于將所述光掩膜鉸接到所述外殼的鉸鏈裝置。

10、一種將柔性光掩膜敷在光敏接收元件上的方法，包括以下步驟：

將光掩膜置于對準并且不接觸光敏接收元件的位置;

用輥子將柔性光掩膜敷在光敏接收元件上;

其特征在于以下步驟：

當輥子將柔性光掩膜敷在光敏接收元件上時，用與所述輥子相分離并靠近所述輥子，位于所述輥子和所述光掩膜的自由端之間的保持裝置保持柔性光掩膜受拉。

11、根據權利要求10所述的方法，其特征還在于：所述保持步驟包括：在輥子將柔性光掩膜敷到光敏接收元件上時，用靠近所述輥子并位于所述輥子和所述光掩膜的自由端之間的所述保持裝置將真空負壓加在所述光掩膜上。

12、根據權利要求10所述的方法，其中光敏接收元件包括涂敷有光聚合物的基片。

13、根據權利要求12所述的方法，其中基片為帶有導電材料涂復層的印刷線路板。

14、根據權利要求13所述的方法，其中導電材料是銅。

15、根據權利要求12所述的方法，還包括用光化光固化光聚合物的步驟。