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[其他]生產涂層玻璃的方法及其制品無效

專利信息
申請號: 86107009 申請日: 1986-10-06
公開(公告)號: CN86107009A 公開(公告)日: 1987-06-17
發明(設計)人: 杰勒德·A·卡利斯;約翰·F·康諾爾;埃伯哈德·R·阿爾巴奇;理查德·A·赫林頓 申請(專利權)人: 利比-歐文斯-福特公司
主分類號: C03C17/30 分類號: C03C17/30
代理公司: 中國專利代理有限公司 代理人: 李若娟
地址: 美國俄*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 生產涂層玻璃制品的連續化學汽相沉積法。玻璃基片趁熱連續推進第一和第二處理點。第一處理點附近保持非氧化氣氛,而在第二處理點的附近保持氧化氣氛。含有硅烷,如SiH4的非氧化氣體,從第一處理點直接朝向玻璃表面,形成硅涂層。含氣態金屬化合物的氧化氣體,從第二處理點直接朝向制品表面的硅涂層。可控制工藝,使含硅烷氣體在玻璃表面形成反射的硅涂層,充分氧化后含金屬化合物的氧化氣體形成金屬氧化物涂層,使金屬氧化物層基本無針孔。
搜索關鍵詞: 生產 涂層 玻璃 方法 及其 制品
【主權項】:
1、一種生產涂層玻璃制品的連續的化學汽相沉積方法,所說的方法包括制品連續推進的步驟,趁熱經過第一和第二相繼的處理點,其中至少第一個處理點是封閉區域,在設有第一處理點的封閉區域內保持非氧化氣氛,第二處理點周圍以及相鄰的玻璃保持氧化氣氛,含有硅烷的非氧化氣體從第一處理點直接朝向玻璃表面,以便在該表面形成硅涂層,含有汽態金屬化合物的氧化氣體,從第二處理點直接朝向玻璃制品的涂層表面,控制玻璃制品的溫度,在第二處理點周圍的氧化氣氛中的停留時間,第一處理點的非氧化氣體的組成和第二處理點的氧化氣體的組成,以便使含有硅烷的氣體在玻璃表面形成反射的硅涂層,含有金屬的氧化氣體形成金屬氧化物涂層,并且制品在到達第二處理點之前進行氧化,而在硅層上面形成足夠厚度的氧化硅層,致使金屬氧化物層基本上沒有針孔。
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