[其他]含有環狀氟化磺酸鹽表面活性劑蝕刻溶液無效
| 申請號： | 86103055 | 申請日： | 1986-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN86103055A | 公開（公告）日： | 1986-11-26 |
| 發明（設計）人： | 羅納德·詹姆斯·霍普金斯;伊萬·高爾·湯姆斯;哈羅德·約翰·基塔 | 申請（專利權）人： | 阿蘭德公司 |
| 主分類號： | C09K13/00 | 分類號： | C09K13/00 |
| 代理公司： | 上海專利事務所 | 代理人： | 全永留 |
| 地址： | 美國新澤西州0796*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 本發明提供了改進的二氧化硅蝕刻劑，由把作為表面活性劑的可溶性環狀氟化磺酸鹽添加到集成電路制作中所用的標準的氧化物蝕刻劑溶液中而獲得的。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 含有 環狀 氟化 磺酸鹽 表面活性劑 蝕刻 溶液 | ||
【主權項】：
1、一種包含可溶性表面活性劑且阻止表面活性劑沉淀的蝕刻溶液，其特征在于所說的溶液包括氟化銨和表面活性劑的一種水狀混合物，所說混合物含有氟化銨(NH4F)13.5-45(重量)%以及具有以下結構式的氟化環烷烴磺酸鹽和(或)氟化環烯烴磺酸鹽25-2000PPm，式中：n為小于等于6的一個數值，X可以是F、Cl、H、OH、SSO4A、R或者可略去R，Y可以是F-、Cl、H、OH-、R或者可略去R、A可以是H+、NH+4、Na+、K+、Li+、R+或者NR+4，其中R為1-4個碳原子的烷基和(或)氟烷基及它們的混合物，其余為水。
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