[其他]含有環(huán)狀氟化磺酸鹽表面活性劑蝕刻溶液

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 86103055
• 申請(qǐng)日: 1986-04-29
• 公開（公告）號(hào): CN86103055A
• 公開（公告）日: 1986-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅納德·詹姆斯·霍普金斯;伊萬·高爾·湯姆斯;哈羅德·約翰·基塔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 阿蘭德公司
• 主分類號(hào): C09K13/00
• 分類號(hào): C09K13/00
• 代理公司: 上海專利事務(wù)所
• 代理人: 全永留

1、一種包含可溶性表面活性劑且阻止表面活性劑沉淀的蝕刻溶液，其特征在于所說的溶液包括氟化銨和表面活性劑的一種水狀混合物，所說混合物含有氟化銨(NH₄F)13.5-45(重量)%以及具有以下結(jié)構(gòu)式的氟化環(huán)烷烴磺酸鹽和(或)氟化環(huán)烯烴磺酸鹽25-2000PPm，

式中：n為小于等于6的一個(gè)數(shù)值，X可以是F、Cl、H、OH、SSO₄A、R或者可略去R，Y可以是F^-、Cl、H、OH^-、R或者可略去R、A可以是H⁺、NH⁺₄、Na⁺、K⁺、Li⁺、R⁺或者NR⁺₄，其中R為1-4個(gè)碳原子的烷基和(或)氟烷基及它們的混合物，其余為水。

2、如權(quán)利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的溶液含有高達(dá)11（重量）%的氟化氫。

3、如權(quán)利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的氟化環(huán)類表面活性劑中“n”具有2-4數(shù)值。

4、如權(quán)利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的氟化環(huán)類表面活性劑是具有低金屬離子含量的銨鹽。

5、如權(quán)利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的氟化環(huán)烷烴或者環(huán)烯烴磺酸鹽是氟化環(huán)烷烴或者環(huán)烯烴磺酸。

6、如權(quán)利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的氟化環(huán)表面活性劑的存在量為200-5000ppm，并以干燥固體或者以極性水溶劑混合的溶液添加到蝕刻溶液中。

7、如權(quán)利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的溶液含有高達(dá)11（重量）%的氟化氫、200-1000ppm的氟化環(huán)類表面活性劑以及減少腐蝕的稀釋劑。

8、如權(quán)利要求2所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的溶液含有高達(dá)50（重量）%的用于降低腐蝕的稀釋劑，所說稀釋劑是由醋酸、乙二醇以及1-3個(gè)碳原子的醇組成的組中選擇的。

9、一種制備蝕刻溶液的工藝，其特征在于所說的工藝包括將49（重量）%的氟化氫水溶液和15-40（重量）%的氟化銨水溶液摻合，并添加200-5000ppm的有效的氟化環(huán)類表面活性劑。

10、如權(quán)利要求9所說的工藝，其特征在于所說的氟化銨水溶液含有大約30（重量）%的NH₄F。