[其他]在硅膜中心部位設置四端單元件的力敏器件無效
| 申請號： | 85201923 | 申請日： | 1985-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN85201923U | 公開（公告）日： | 1986-03-19 |
| 發明（設計）人： | 鮑敏杭 | 申請（專利權）人： | 復旦大學 |
| 主分類號： | H01L29/00 | 分類號： | H01L29/00 |
| 代理公司： | 復旦大學專利事務所 | 代理人： | 滕懷流,陸飛 |
| 地址： | 上海市邯鄲*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | 在硅膜中心部位設置四端單元件力敏器件是利用某些特定形狀的硅膜的中心部分的應力變化緩慢的特點進行設計的。此設計可減少器件對工藝中定位偏差的敏感性，特別是提高了在小型化硅膜上制作器件的現實性。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 中心 部位 設置 四端 元件 器件 | ||
【主權項】：
1.一種在硅膜上設置四端單元件的力敏器件，其特征在于上述的四端單元件(四端力敏元件)設置在硅膜的中心部位。
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