[其他]在硅膜中心部位設(shè)置四端單元件的力敏器件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 85201923
• 申請日: 1985-05-22
• 公開（公告）號: CN85201923U
• 公開（公告）日: 1986-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鮑敏杭
• 申請（專利權(quán)）人: 復(fù)旦大學(xué)
• 主分類號: H01L29/00
• 分類號: H01L29/00
• 代理公司: 復(fù)旦大學(xué)專利事務(wù)所
• 代理人: 滕懷流,陸飛

1.一種在硅膜上設(shè)置四端單元件的力敏器件，其特征在于上述的四端單元件(四端力敏元件)設(shè)置在硅膜的中心部位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所說的力敏器件，其特征在于上述的硅膜為矩形和圓形兩種：

矩形硅膜為(100)n型硅片，邊沿〔110〕和〔110〕方向，長邊為短邊的二倍以上，四端力敏元件取向與矩形膜邊夾角為45°。

圓形硅膜為(110)n型硅片，四端力敏元件取向與〔110〕晶向夾角為45°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所說的力敏器件，其特征在于上述的四端力敏元件的長寬比為1～3，寬度為矩形硅膜短邊長度(或圓形硅膜直徑長度)的10％左右。