[其他]一種密封式單晶爐無效
| 申請號: | 85200367 | 申請日: | 1985-04-01 |
| 公開(公告)號: | CN85200367U | 公開(公告)日: | 1986-01-15 |
| 發明(設計)人: | 曾朝偉;蘇錫珍 | 申請(專利權)人: | 中國科學院科學儀器廠 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00;C30B29/10;C30B9/00 |
| 代理公司: | 中國科學院專利事務所 | 代理人: | 李紅,關玲 |
| 地址: | 北京市海*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | 一種密封式單晶爐,本實用新型屬于單晶生長所用的裝置。以往的六硼化鑭等單晶生長裝置,一般使用馬弗爐、擴散爐或類似的爐子。爐體大,造價高,耗電耗氣多,面坩堝容量卻較小,因此生長得到的單晶較少,成本較高。本裝置的主要特點是爐體小、坩堝大、耗電省,不消耗高純保護氣體,因而提高了單晶生長的數量,降低了成本,本裝置亦可用于其它晶體生長及各種材料的熱處理。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 一種 密封 式單晶爐 | ||
【主權項】:
1、一種爐體內由坩堝[9]、加熱器[8]、隔熱罩[7]、惰性保護氣體[17]、熱電偶[15]、隔熱墊[11]組成的密封式六硼化鑭單晶爐。其特征是:具有金屬爐體[10],在爐體頂部和側面有密封法蘭[1、14],密封圈[2、13]和緊固件[3、12]把爐體密封,在爐體兩側有兩個金屬管道,其中一個金屬管道通安全閥[16],另一個與氣壓表[4]相連接,并通過閥門[5]與機械泵相連,通過另一閥門[6]與惰性氣體瓶相連。
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