[其他]一種密封式單晶爐

無效

• 申請號: 85200367
• 申請日: 1985-04-01
• 公開（公告）號: CN85200367U
• 公開（公告）日: 1986-01-15
• 發明（設計）人: 曾朝偉;蘇錫珍
• 申請（專利權）人: 中國科學院科學儀器廠
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/10;C30B9/00
• 代理公司: 中國科學院專利事務所
• 代理人: 李紅,關玲

本發明屬于單晶生長所用的裝置。

現有六硼化鑭等單晶的生長裝置，一般使用馬弗爐、擴散爐或類似的爐子。這些爐子的爐體大，造價高，耗電多，要求保護氣體的純度高而且消耗量也大，而爐內坩堝的容量卻較小，一般只有15至50毫升，因此生長得到的單晶較少，成本較高。

本發明研制成功了一種密封式單晶爐，其爐體小，坩堝大，耗電省，不消耗高純保護氣體，因而提高了單晶的產量，降低了成本。

密封式單晶爐的結構如圖所示：單晶爐體〔10〕是用一定厚度的金屬材料制成，爐體頂部和側面有密封法蘭〔1，14〕和密封圈〔2，13〕及緊固件〔3，12〕將爐體密封，側面密封法蘭將熱電偶〔15〕及加熱器〔8〕的引線引出。爐體側面還有兩個金屬管道，其一通安全閥〔16〕，另一個與氣壓表〔4〕相連，并通過閥門〔5〕與機械泵相連，通過閥門〔6〕與惰性保護氣體瓶相連。爐體芯部為坩堝〔9〕，加熱器〔8〕，隔熱罩〔7〕，隔熱墊〔11〕。爐內充滿惰性保護氣體〔17〕，氣體的純度可以是工業純。氣體壓力由壓力表〔4〕指示，可以等于或大于大氣壓力，超過某一限度時，安全閥〔16〕自動減壓。氣體一次充入后可以不再補充。

發明人根據上述結構作成的單晶爐的外徑只有225毫米，高度270毫米，坩堝容量為114毫升，用機械泵抽去爐內的空氣之后，充入工業純惰性保護氣體，氣體的壓力為0～3公斤／平方厘米，升溫至1200℃，加熱功率小于2000瓦，利用鋁熔融法，生長得到數目可觀的（100）六硼化鑭單晶。

本單晶爐可廣泛的用于其他單晶的生長及各種材料的熱處理裝置。