[其他]偏振條紋掃描數(shù)字干涉儀無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 85106007 | 申請(qǐng)日： | 1985-08-06 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN85106007B | 公開（公告）日： | 1988-03-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 伍樹東;陳祥禎;陶琇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01M11/00 | 分類號(hào)： | G01M11/00;G01B9/02 |
| 代理公司： | 中國(guó)科學(xué)院上海專利事務(wù)所 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 上海市8*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 偏振條紋掃描數(shù)字干涉儀是用于光學(xué)檢驗(yàn)的儀器，它利用起編器、偏振小孔、菲涅爾相板組成的位相偏振編碼器將被測(cè)的位相分布φ(X、Y)編碼為不同偏振角分布φ(X、Y)/2，通過旋轉(zhuǎn)檢編器進(jìn)行條紋掃描，其干涉圖由電視攝像機(jī)接收，送入微機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。發(fā)明提供了測(cè)量透鏡、球面和平面等光學(xué)元件的實(shí)用的偏振條紋掃描數(shù)字干涉儀。該發(fā)明的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，在一般環(huán)境條件下工作，可獲得高精密的測(cè)量。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 偏振 條紋 掃描 數(shù)字 干涉儀 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1.一種用于光學(xué)檢驗(yàn)的偏振條紋掃描數(shù)字干涉儀，含有激光光源〔1〕、偏振軸可調(diào)的起偏器〔12〕、帶有偏振小孔〔14〕的偏振板〔13〕、四分之一波片〔15〕、成象透鏡〔6〕、旋轉(zhuǎn)檢偏器〔7〕、其特征在于所說的四分之一波片為費(fèi)涅爾相板〔15〕，所說的偏振軸可調(diào)起偏器〔12〕位于被測(cè)元件〔4〕之后，並與偏振板〔13〕和費(fèi)涅爾相板〔15〕一起構(gòu)成位相偏振編碼器〔5〕，微機(jī)〔10〕通過同步控制機(jī)構(gòu)〔8〕使所說的旋轉(zhuǎn)檢偏器〔7〕同步旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生條紋掃描，干涉圖被電視攝象機(jī)〔9〕接收，送入微機(jī)〔10〕進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。
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