[其他]偏振條紋掃描數字干涉儀

無效

• 申請號: 85106007
• 申請日: 1985-08-06
• 公開（公告）號: CN85106007B
• 公開（公告）日: 1988-03-02
• 發明（設計）人: 伍樹東;陳祥禎;陶琇
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00;G01B9/02
• 代理公司: 中國科學院上海專利事務所
• 代理人: 張澤純

1、一種用于光學檢驗的偏振條紋掃描數字干涉儀，含有激光光源〔1〕、偏振軸可調的起偏器〔12〕、帶有偏振小孔〔14〕的偏振板〔13〕、四分之一波片〔15〕、成象透鏡〔6〕、旋轉檢偏器〔7〕、其特征在于所說的四分之一波片為費涅爾相板〔15〕，所說的偏振軸可調起偏器〔12〕位于被測元件〔4〕之后，並與偏振板〔13〕和費涅爾相板〔15〕一起構成位相偏振編碼器〔5〕，微機〔10〕通過同步控制機構〔8〕使所說的旋轉檢偏器〔7〕同步旋轉，產生條紋掃描，干涉圖被電視攝象機〔9〕接收，送入微機〔10〕進行數據處理。

2、按照權利要求1的偏振條紋掃描數字干涉儀，其特征在于還有聚光鏡〔2〕和針孔板〔3〕，激光光源〔1〕發射的光束通過聚光鏡〔2〕聚焦在針孔板〔3〕的針孔上，針孔處在被測透鏡〔4〕的物面上，并作為標準點光源，其象點落在所說的位相偏振編碼器〔5〕的偏振小孔〔14〕上。

3、按照權利要求1的偏振條紋掃描數字干涉儀，其特征在于還有單模光纖〔16〕和顯微物鏡〔18〕，激光光源〔1〕發出的光耦合入單模光纖〔16〕并引導到顯微物鏡〔18〕的一近軸象點〔17〕上形成點光源，被測球面〔19〕的球心處于顯微物鏡〔18〕的物面軸上，激光由被測球面〔19〕反射后經顯微物鏡〔18〕成象在與點源〔17〕對稱的象面位置，形成星點〔20〕并落在所說的位相偏振編碼器〔5〕的偏振小孔〔14〕上。

4、按照權利要求3的偏振條紋掃描數字干涉儀，其特征在于還有準直鏡〔21〕激光光源〔1〕發出的光耦合入單模光纖〔16〕并引導到顯微物鏡〔18〕的一近軸象點〔17〕上形成點光源，準直鏡〔21〕的球心處于顯微物鏡〔18〕的物面軸上，通過準直鏡〔21〕的激光被測平面〔22〕反射后，經準直鏡〔21〕、顯微物鏡〔18〕成象在點源〔17〕對稱的象面位置形成星點〔20〕並落在所說的位相偏振編碼器〔5〕的偏振小孔〔14〕。