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[其他]高流量多級盤形分子泵無效

專利信息
申請號: 85105304 申請日: 1985-07-06
公開(公告)號: CN85105304B 公開(公告)日: 1988-09-14
發明(設計)人: 儲繼國;孫云龍;徐禮霸 申請(專利權)人: 復旦大學
主分類號: F04D19/04 分類號: F04D19/04
代理公司: 復旦大學專利事務所 代理人: 陸飛
地址: 上海市邯鄲*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 發明屬于高轉速機械真空泵,例如分子泵。它提出了一種多級盤形分子泵的新的串聯工作模式。其螺線槽采用對數形式Ro為圓盤內半徑,θ為極角,α為螺線槽切向與圓盤徑向夾角,螺線槽可開在定圓盤或動圓盤兩側面,或交替開在定圓盤與動圓盤一側面,使相鄰兩動圓盤構成二級盤形泵。多級盤形分子泵的入口側還可串聯安裝若干級渦輪分子泵葉輪,組成新的復合分子泵,本發明簡化了分子泵的結構,提高了分子泵的流量和運行可靠性。
搜索關鍵詞: 流量 多級 分子
【主權項】:
1.一種盤形分子泵,包括固定在泵體殼上的多個定圓盤和同軸安裝在旋轉軸上的多個動圓盤,所述定圓盤與所述動圓盤是交替設置的,其特征在于上述定圓盤或上述動圓盤面上刻有形狀為R=Ro·ectg2·θ的對數螺線槽,其中R為螺線半徑,Ro為圓盤內半徑,θ為極坐標極角,α為螺線槽切向與圓盤徑向之間的夾角,其值在45°與85°之間。
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