[其他]高流量多級盤形分子泵

無效

• 申請號: 85105304
• 申請日: 1985-07-06
• 公開（公告）號: CN85105304B
• 公開（公告）日: 1988-09-14
• 發明（設計）人: 儲繼國;孫云龍;徐禮霸
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 復旦大學專利事務所
• 代理人: 陸飛

1、一種盤形分子泵，包括固定在泵體殼上的多個定圓盤和同軸安裝在旋轉軸上的多個動圓盤，所述定圓盤與所述動圓盤是交替設置的，其特征在于上述定圓盤或上述動圓盤面上刻有形狀為R＝R_o·e^ctg2·θ的對數螺線槽，其中R為螺線半徑，R_o為圓盤內半徑，θ為極坐標極角，α為螺線槽切向與圓盤徑向之間的夾角，其值在45°與85°之間。

2、根據權利要求1所說的盤形分子泵，其特征在于各定圓盤的內徑R₁取不同值，靠近入口側的2-4級取較大值：0.5R₂到0.8R₂之間，其余各級取較小值;0.3R₂到0.6R₂之間，其中R₂為動圓盤的外半徑。

3、根據權利要求1或2所說的盤形分子泵，其特征在于相鄰兩單級盤形泵的螺線槽開在定圓盤3或動圓盤4的兩側面上，螺線槽的走向相反。

4、根據權利要求1或2所說的盤形分子泵，其特征在于相鄰兩單級盤形泵的螺線槽交替開在定圓盤3和動圓盤4上，螺線槽走向一致。

5、根據權利要求3所說的盤形分子泵，其特征在于螺線槽切向與圓盤徑向夾角α在50°到60°之間。

6、根據權利要求4所說的盤形分子泵，其特征在于螺線槽切向與圓盤徑向夾角α在50°與60°之間。

7、根據權利要求3所說的盤形分子泵，其特征在于入口側串聯安裝若干級渦輪分子泵葉輪。

8、根據權利要求4所說的盤形分子泵，其特征在于入口側串聯安裝若干級渦輪分子泵葉輪。

9、根據權利要求1或2或5或6所說的盤形分子泵的結構原理做成的氣體動密封裝置。

10、根據權利要求3所說的盤形分子泵的結構原理做成的氣體動密封裝置。

11、根據權利要求4所說的盤形分子泵的結構原理做成的氣體動密封裝置。