[其他]作為摻雜劑的磷酰三胺及其聚合物在審
| 申請號： | 85104374 | 申請日： | 1985-06-05 |
| 公開（公告）號： | CN85104374A | 公開（公告）日： | 1986-12-03 |
| 發明（設計）人： | 羅伊斯·簡尼·阿尼羅;斯蒂芬·威克弗德·卡特林;丹尼爾·福蘭克·哈里斯 | 申請（專利權）人： | 阿蘭德公司 |
| 主分類號： | C07F9/06 | 分類號： | C07F9/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 美國新澤西州07960*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 磷酰三胺及其聚合物被稱作為用于旋制摻雜到半導體材料上和用于集成電路制造上的磷摻雜劑。在低荷載條件下，于1000℃擴散1小時即能制得薄膜電阻系數為每平方4～13歐姆。聚合物(或單體)是均相的，可溶的，如用旋涂法易于將它均勻分散到半導體表面上，且較不易揮發，以至當溶液脫除后，將材料加熱到擴散溫度，就將得到確實是完整的所預想的薄膜，并能變成不可溶的，即用加熱和其它方法使其交聯，并呈現玻璃化的特征而不是結晶化的。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 作為 摻雜 磷酰三胺 及其 聚合物 | ||
【主權項】：
1、由磷摻雜劑配方形成一種感應導電性的薄膜，在此配方中的磷酰三胺在其揮發性溶劑中所占的比例至少為1.0%(重量)，此磷酰三胺可由含下述單體和聚合物的結構基團中來選擇，單體的結構式為(RNH)3P∶=X而聚合物的結構式為作為這種基本摻雜劑的組分，其中“R”是選自氫、含1～12個碳原子的脂肪族烷基、環烷基和芳基，X則選自含氧和硫的基團；并且至少有一個R基團，此R基團或是脂肪族烷基、環烷基、或是芳基。
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