[其他]光學位移測量儀無效
| 申請號： | 85102930 | 申請日： | 1985-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN1005217B | 公開（公告）日： | 1989-09-20 |
| 發明（設計）人： | 谷口佳代子;土谷秀樹;外山正明 | 申請（專利權）人： | 索尼磁尺株式會社 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 上海專利事務所 | 代理人： | 楊國勝 |
| 地址： | 日本東京都品川區西*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 光學位移測量儀包含一個用作標度尺的可移動的衍射光柵；一個半導體激光器（１）：光檢測器（１０，１１）和能使被上述衍射光柵衍射的兩光束互相干涉的裝置（２，４，５，６，７），有了這種裝置，就能根據干涉信號的變化檢測出上述衍射光柵內的不規則性。激光器的輸出具有適當的相干性，能有選擇地使具有相同光通路長度的兩光束彼此互相干涉。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 光學 位移 測量儀 | ||
【主權項】：
1、本發明的一種光學位移測量儀具有如下特征，它包含一個用作標度尺的可移動的衍射光柵(3)；一個光源(1)；光檢測器(10，11)；和能使被上述衍射光柵的兩束光互相干涉的裝置(2，4，5，6，7)，有了這種裝置，就能根據干涉信號的變化檢測出上述衍射光柵的不規則之處；上述光源部分是一個多模半導體激光器，這種器件具有能使兩束具有相同的的光通路長度的光束有選擇地互相干涉的適宜的相干性。
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