[其他]光學(xué)位移測量儀

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 85102930
• 申請日: 1985-04-13
• 公開（公告）號: CN1005217B
• 公開（公告）日: 1989-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 谷口佳代子;土谷秀樹;外山正明
• 申請（專利權(quán)）人: 索尼磁尺株式會社
• 代理公司: 上海專利事務(wù)所
• 代理人: 楊國勝

1、一種光學(xué)位移測量儀，包括一個用作標(biāo)度尺的可移動的衍射光柵（3），一個光源（1），光檢測器（10，11）和能使被上述衍射光柵衍射的兩束光互相干涉的裝置（2、4、5、6、7），以便根據(jù)干涉信號的變化檢測出上述衍射光柵中的不規(guī)則之處，其特征在于，上述光源部分是一個多模半導(dǎo)體激光器，該器件具有能使兩束相同光通路長度的光束有選擇地互相干涉的適宜的相干性。

2、根據(jù)權(quán)利要求1的光學(xué)位移測量儀，其特征在于，互相干涉的上述兩束光的光通路長度差是作為干涉條紋的調(diào)制變化耒檢測的，所述的光學(xué)位移測量儀進(jìn)一步包括用于顯示上述互相干涉的兩束光的光通路長度之差的裝置。

3、根據(jù)權(quán)利要求1的光學(xué)位移測量儀，其特征在于，互相干涉的上述兩束光的光通路之差是作為干涉條紋的調(diào)制變化耒檢測的，所述的光學(xué)位移測量儀還進(jìn)一步包括觀察調(diào)制產(chǎn)生的變化的裝置，當(dāng)上述兩光束的光通路長度之差比預(yù)定的值大時，上述差距就被顯示出來。

4、根據(jù)權(quán)利要求1的光學(xué)位移測量儀，其特征在于，互相干涉的上述兩束光的光通路之差是作為干涉條紋的調(diào)制變化來測得的，所述的光學(xué)位移測量儀還包括觀察調(diào)制過程中的變化的裝置以及當(dāng)上述兩光束的光通路長度之間的差距比預(yù)定的值大時，能中途中斷測量的裝置。

5、根據(jù)權(quán)利要求1的光學(xué)位移測量儀，其特征在于，每一個光檢測器里都包含一個能起偏振的光束分離器（28，29），兩束光的干涉光就投射在其上面，并由它將入射光分成兩部分，其中一束是沿著與入射光束相平行的第一條光通路繼續(xù)傳播的光束，而另一條則是沿著第二條光通路繼續(xù)傳播的光束，第一個光電二極管（30，D₃）是設(shè)置在上述第一條光通路上，第二個光電二極管（33，D₄）是設(shè)置在上述第二條光通路上，上述第一個光電二極管是與第二個光電二極管相串聯(lián)的，一個反向偏置電源與上述第一和第二光電二極管相連，一個其輸入與上述第一和第二兩個光電二極管（D₃、D₄）的連接點相連的放大器（AMP），上述的每一個光電二極管設(shè)計得當(dāng)干涉光線進(jìn)入上述的光束分離器時，上述放大器輸出的檢測信號不包括直流分量。

6、根據(jù)權(quán)利要求1的光學(xué)位移測量儀，其特征在于，第一光電探測器包括一安排成接收所述兩束或多束干涉光束的偏振分束器，該分束器把該入射光束一分為二，一束光束沿著第一條光路繼續(xù)前進(jìn)，這條光路是沿著入射光束的原來的方向的，另一束光束則沿著第二條光路前進(jìn)，安裝在第一條光路上的第一只光電二極管和安裝在第二條光路上的第二只光電管，所述第一和第二光電二極管互相串聯(lián)，一反向偏置源連接到所述第一和第二光電二極管上，一放大器，該放大器的輸入端和第一、第二光電二極管的連接點相連接，所述放大器在干涉光進(jìn)入所述光分束器時產(chǎn)生檢出的信號，信號中不包括直流分量。

7、一種光學(xué)位移測量儀，包括一個用作標(biāo)度尺的可移動的衍射光柵，一個光源，光檢測器和能使被上述光柵衍射的兩束光互相干涉的裝置，以便根據(jù)干涉信號的變化檢測出上述光柵的位移，其特征在于，

上述用于使被所述的光柵衍射的兩束光互相干涉的裝置包括，一個把上述光源發(fā)出的光束分為兩束并使這兩束光進(jìn)入上述光柵的光束分離器，一對位于與上述光束分離器相對的光柵一側(cè)以使來自上述光柵的第一級兩衍射光束再次進(jìn)入上述光柵的反射鏡，所述的光束分離器使被上述光柵再次衍射的第一級兩衍射光束互相干涉。

8、根據(jù)權(quán)利要求7的光學(xué)位移測量儀，其特征在于，進(jìn)一步包括位于與上述光束分離器相同的光柵一側(cè)的另一對反光鏡。

9、根據(jù)權(quán)利要求7的光學(xué)位移測量儀，其特征在于，上述衍射光柵是一個三維全息圖，上述全息圖的光柵矢量的方向與測量的方向相一致。

10、根據(jù)權(quán)利要求7的光學(xué)位移測量儀，其特征在于，上述第一組反射鏡是設(shè)置在上述衍射光柵之下的。