[其他]一種小型流體傳感器無效
| 申請號： | 85102765 | 申請日： | 1985-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN85102765B | 公開（公告）日： | 1987-09-16 |
| 發明（設計）人： | 牛德芳;高鑫;胡靜山;周麗芳 | 申請（專利權）人： | 大連工學院 |
| 主分類號： | G01L9/06 | 分類號： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 大連工學院專利事務所 | 代理人： | 王樹本 |
| 地址： | 遼寧省大*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | 本發明屬于壓力測量技術領域。此小型流體傳感器的力敏元件是利用半導體壓阻效應，采用集成電路工藝制成。為提高成品率，在(001)晶面上沿晶向集成八個力敏電阻，可構成四組電橋。該傳感器采用了全密封結構，將密封的不銹鋼膜片直接焊在端蓋上，并采用螺帽壓接結構，便于觀察和清洗膜片。力敏元件的安裝是采用兩個“O”型密封圈將其固定在主體上，這樣可消除外界干擾力的影響。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 一種 小型 流體 傳感器 | ||
【主權項】：
一種由半導體力敏元件和腔體所組成的小型流體傳感器，它包括有：A、流體接口3，它是采用與不銹鋼膜片5直徑相近的壓緊螺帽安裝在端蓋1上的；B、力敏元件是采用整體硅杯結構，將八個力敏電阻分布在(001)晶面上的晶向上；其特征在于：C、用雜質擴散在硅杯(001)晶面上的晶向上的八個力敏電阻，它們之中的四個力敏電阻(1)、(4)、(5)、(8)分布在0.8～0.98r之間，另外四個力敏電阻(2)、(3)、(6)、(7)分布在0.5～0.6r之間；D、組成惠斯登電橋力敏電阻(1)、(2)、(3)、(4)為一組，(3)、(4)、(5)、(6)為一組，(5)、(6)、(7)、(8)為一組，(7)、(8)、(1)、(2)為一組；E、將不銹鋼膜片5直接壓焊在腔體的端蓋(1)上。
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