[其他]一種小型流體傳感器無效
| 申請號： | 85102765 | 申請日： | 1985-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN85102765B | 公開（公告）日： | 1987-09-16 |
| 發明（設計）人： | 牛德芳;高鑫;胡靜山;周麗芳 | 申請（專利權）人： | 大連工學院 |
| 主分類號： | G01L9/06 | 分類號： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 大連工學院專利事務所 | 代理人： | 王樹本 |
| 地址： | 遼寧省大*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 小型 流體 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種由半導體力敏元件和腔體所組成的小型流 體傳感器，它包括有：
A、流體接口3，它是采用與不銹鋼膜片5直 徑相近的壓緊螺帽安裝在端蓋1上的；
B、力敏元件是采用整體硅杯結構，將八個力 敏電阻分布在(001)晶面上的<110>晶向上；
其特征在于：
C、用雜質擴散在硅杯(001)晶面上的<110> 晶向上的八個力敏電阻，它們之中的四個力敏電阻 (1)、(4)、(5)、(8)分布在0.8～0.98r之間， 另外四個力敏電阻(2)、(3)、(6)、(7)分布在 0.5～0.6r之間；
D、組成惠斯登電橋力敏電阻(1)、(2)、(3)、 (4)為一組，(3)、(4)、(5)、(6)為一組，(5)、 (6)、(7)、(8)為一組，(7)、(8)、(1)、(2) 為一組；
E、將不銹鋼膜片5直接壓焊在腔體的端蓋 (1)上。
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