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[其他]液氮溫區超導薄膜及其制備方法在審

專利信息
申請號: 101987000002739 申請日: 1987-04-15
公開(公告)號: CN1004951B 公開(公告)日: 1989-08-02
發明(設計)人: 趙柏儒;王會生;陸勇;史引煥;趙玉英;李林 申請(專利權)人: 中國科學院物理研究所
主分類號: 分類號:
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 北京6*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 發明的液氮溫區超導薄膜制備工藝,按Ax5-xCu55(3-y)或Ax1-xCuO3-y體系制成化合物靶,其中A=Ca,Sr,Ba;B=Sc,Y,La;X=0.5-0.6;Y=0.5-1;后者體系X=0.3-0.7。用直流(或射頻)磁控揀射和熱處理工藝,工藝簡單、可重復,穩定性好。制備的薄膜厚度0.5-1μm,在液氮溫區呈現超導,用電阻法或感應法可測量其薄膜的超導電性。
搜索關鍵詞: 液氮 超導 薄膜 及其 制備 方法
【主權項】:
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