[其他]涂敷光刻膠的方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 101986000003644 | 申請(qǐng)日： | 1986-06-11 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN86103644B | 公開(kāi)（公告）日： | 1988-11-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 伊藤鐵男;田沼正之;込義之;門田和也;小林一成 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社日立制作所 |
| 主分類號(hào)： | 分類號(hào)： | ||
| 代理公司： | 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利代理部 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 光刻工藝，包括在襯底上旋涂光刻膠并將掩膜圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上而后進(jìn)行曝光，及在圖形被曝光后在襯底上形成該圖形。當(dāng)光刻膠顯影圖形因涂敷光刻膠工藝中的參數(shù)的增加或減少而脈動(dòng)變化時(shí)，將參數(shù)的值設(shè)置到與脈動(dòng)的極值相符。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光刻 方法 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
暫無(wú)信息
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于株式會(huì)社日立制作所，未經(jīng)株式會(huì)社日立制作所許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/patent/101986000003644/，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：混凝土成型用的模板
- 下一篇：阿利特硫鋁酸鈣水泥的組成及制造方法
- 同類專利
- 專利分類
- 一種數(shù)據(jù)庫(kù)讀寫分離的方法和裝置
- 一種手機(jī)動(dòng)漫人物及背景創(chuàng)作方法
- 一種通訊綜合測(cè)試終端的測(cè)試方法
- 一種服裝用人體測(cè)量基準(zhǔn)點(diǎn)的獲取方法
- 系統(tǒng)升級(jí)方法及裝置
- 用于虛擬和接口方法調(diào)用的裝置和方法
- 線程狀態(tài)監(jiān)控方法、裝置、計(jì)算機(jī)設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種JAVA智能卡及其虛擬機(jī)組件優(yōu)化方法
- 檢測(cè)程序中方法耗時(shí)的方法、裝置及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 函數(shù)的執(zhí)行方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)
