[其他]半導體器件及其制造方法在審
| 申請號: | 101986000002691 | 申請日: | 1986-04-19 |
| 公開(公告)號: | CN1004456B | 公開(公告)日: | 1989-06-07 |
| 發明(設計)人: | 田端輝夫 | 申請(專利權)人: | 三洋電機株式會社 |
| 主分類號: | 分類號: | ||
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人: | 王以平 |
| 地址: | 日本大阪*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | 本發明涉及一種半導體器件及其制造方法。其中,雙隔離擴散區的下擴散層加在襯底表面上,在該下擴散層上形成外延層,該層主要朝上向外擴散入外延層,同時從外延層表面深擴散一元件擴散區,然后淺擴散雙隔離擴散區的上擴散層。由此抑制上擴散層的橫向延伸,改善集成度。本發明器件中雙隔離擴散區、集電區、基區及發射區都形成在外延層寬度內。該器件的基區寬度起伏減少,過渡頻率fT和電流增益hFE得到提高。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 半導體器件 及其 制造 方法 | ||
【主權項】:
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