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[其他]半導體器件及其制造方法在審

專利信息
申請號: 101986000002691 申請日: 1986-04-19
公開(公告)號: CN1004456B 公開(公告)日: 1989-06-07
發明(設計)人: 田端輝夫 申請(專利權)人: 三洋電機株式會社
主分類號: 分類號:
代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部 代理人: 王以平
地址: 日本大阪*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 發明涉及一種半導體器件及其制造方法。其中,雙隔離擴散區的下擴散層加在襯底表面上,在該下擴散層上形成外延層,該層主要朝上向外擴散入外延層,同時從外延層表面深擴散一元件擴散區,然后淺擴散雙隔離擴散區的上擴散層。由此抑制上擴散層的橫向延伸,改善集成度。本發明器件中雙隔離擴散區、集電區、基區及發射區都形成在外延層寬度內。該器件的基區寬度起伏減少,過渡頻率fT和電流增益hFE得到提高。
搜索關鍵詞: 半導體器件 及其 制造 方法
【主權項】:
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