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[其他]制造半導體器件的方法在審

專利信息
申請號: 101985000009507 申請日: 1985-12-04
公開(公告)號: CN1005802B 公開(公告)日: 1989-11-15
發明(設計)人: 矢元久良;鈴木秀雄 申請(專利權)人: 索尼公司
主分類號: 分類號:
代理公司: 中國專利代理有限公司 代理人: 肖**昌;肖春京
地址: 日本國東京都品*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 發明涉及用高阻值的電阻器制造半導體器件的方法。在本發明中,首先形成第一層多晶硅層,它與在半導體襯底中形成的電接觸部分接觸。其次,在第一層多晶硅層上面形成第二層含氧多晶硅層。然后退火,以消除在兩層多晶硅層之間形成的氧化物。
搜索關鍵詞: 制造 半導體器件 方法
【主權項】:
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