[其他]微型箔式電阻應變計的制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 101985000000133 | 申請日： | 1985-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN85100133B | 公開（公告）日： | 1988-03-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 馮仁賢;揚風河;陸符聰 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 清華大學專利事務所 | 代理人： | 張秀珍 |
| 地址： | 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： |
“微型箔式電陽應變計的制造方法”，屬于計量、測試元件制造技術。本方法采用正性光刻膠光刻敏感柵，曝光光源為球形汞燈，采用０．８～１２％氫氧化鉀溶液作顯影液，用離心法制基底膜，用濃度為５５°～００°（波美）三氯化鐵腐蝕液，一次腐蝕成型。采用此制造方法，能夠制造絲柵寬度小于１０微米的康銅敏感柵，基底面積為２ｍｍ |
||
| 搜索關鍵詞： | 微型 電阻 應變 制造 方法 | ||
【主權項】：
暫無信息
下載完整專利技術內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于清華大學，未經(jīng)清華大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/patent/101985000000133/，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：自動六端口反射計主機
- 下一篇：聚對苯二甲酰對苯二胺的合成工藝
- 同類專利
- 專利分類
