[發明專利]廢乙二醇基漿料的分離,再生和重新使用的方法

無效

• 申請號: 99808051.9
• 申請日: 1999-07-01
• 公開（公告）號: CN1307517A
• 公開（公告）日: 2001-08-08
• 發明（設計）人: C·加瓦塔利;G·弗萊加科莫
• 申請（專利權）人: MEMC電子材料有限公司
• 主分類號: B28D1/02
• 分類號: B28D1/02;B01D21/26;B01D37/04;B03B9/06
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 段承恩

1.一種處理在從硅錠上切硅晶片過程中產生的廢漿料的方法，所述漿料包含磨料顆粒成分和潤滑液成分，使得可以回收至少所述成分之一并且在制備新漿料中重新使用，所述方法包括：

把所述廢漿料加熱，降低粘度；

把所加熱的漿料分離成液體部分和固體部分，所述液體部分包含潤滑液成分；和

收集所分離的液體部分，所述液體部分可以在新漿料的制備過程中重新使用，而無需進一步分離。

2.根據權利要求1的方法，其中，把所述廢漿料加熱，使粘度降低到在約55-150cps范圍內的值。

3.根據權利要求1的方法，其中，所述潤滑液成分是聚乙二醇。

4.根據權利要求1的方法，其中，通過過濾把所加熱的漿料分離成液體部分和固體部分。

5.根據權利要求1的方法，其中，向所述固體部分加入水，形成固體/液體混合物，所述固體部分包含硅顆粒和磨料顆粒成分，所述磨料顆粒成分還包含廢磨料顆粒部分和未失效的磨料顆粒部分。

6.根據權利要求5的方法，其中，向所述固體部分加入水，形成固體/液體混合物，其總固體含量范圍為約20-30克/升。

7.根據權利要求5的方法，其中，把所述固體/液體混合物分離成廢產物和回收產物，所述廢產物包括所述硅顆粒和所述廢磨料顆粒成分部分，所述回收產物包含所述未失效磨料顆粒成分部分。

8.根據權利要求7的方法，其中，使用旋流分選機分離所述固體/液體混合物。

9.根據權利要求7的方法，其中，從所述回收產物中除去水，以收集所述未失效磨料顆粒成分部分，所述未失效磨料顆粒成分部分在所述新漿料的制備中可重新使用。

10.根據權利要求9的方法，其中，所述未失效磨料顆粒成分部分的硅顆粒含量小于約2重量％。

11.一種處理從硅錠上切硅晶片過程中產生的廢漿料的方法，所述漿料包含磨料顆粒成分和潤滑液成分，所述方法使得可以回收至少所述成分之一并且在制備新漿料時重新使用，所述方法包括：

把所述廢漿料加熱，降低粘度；

把所加熱的漿料分離成液體部分和固體部分，所述固體部分包含硅顆粒和磨料顆粒成分，所述磨料顆粒成分還包含廢磨料顆粒成分部分和未失效磨料顆粒成分部分；

把所述固體成分與水混合，形成固體/液體混合物；

把所述固體/液體混合物分離成廢產物部分和回收部分，所述廢產物部分包含所述硅顆粒和所述廢磨料顆粒成分部分，所述回收部分包含所述未失效磨料顆粒成分部分；并

并將未失效磨料顆粒成分部分從回收部分中分離，在所述新漿料的制備過程中重新使用。

12.根據權利要求11的方法，其中，加熱所述廢漿料，使所述漿料粘度降低到在約55-150cps的值。

13.根據權利要求11的方法，其中，所述潤滑液成分是聚乙二醇。

14.根據權利要求11的方法，其中，所述固體/液體混合物的固體含量范圍約為20-30克/升。

15.根據權利要求11的方法，其中，使用旋流分選機分離所述固體/液體混合物。

16.根據權利要求11的方法，其中，通過在回收部分中從水中分離磨料顆粒成分部分，把未失效的磨料顆粒成分部分從回收部分中分離出來。

17.根據權利要求16的方法，其中，在分離之后，干燥所述未失效磨料顆粒成分部分到殘余水含量小于約1000ppm。

18.根據權利要求17的方法，其中，未失效的磨料顆粒成分部分含有小于約2重量％的硅顆粒。

19.根據權利要求16的方法，其中，在分離之后，干燥未失效磨料顆粒成分部分到殘余水含量小于約500ppm。

20.根據權利要求19的方法，其中，所述未失效磨料顆粒成分部分含有小于約2重量％的硅顆粒。