[發(fā)明專利]提供半導(dǎo)體原材料的方法和系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 99806838.1
• 申請日: 1999-03-03
• 公開（公告）號: CN1303448A
• 公開（公告）日: 2001-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬克·德斯特法諾;詹姆斯·D·奧夫;托馬斯·H·舒爾特;約翰·M·安德森;恩格·欽·姚;唐納德·R·魯杰里;戴維·W·巴爾德溫;查爾斯·L·巴迪諾
• 申請（專利權(quán)）人: MEMC電子材料有限公司
• 主分類號: C30B15/02
• 分類號: C30B15/02;C30B15/00;C30B35/00;B66F9/18
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 王景林

1．一種向用于生長單晶半導(dǎo)體材料的晶體提拉裝置提供原材料的方法，該方法包括下列步驟：

在具有晶體提拉裝置的設(shè)備處接受所述原材料的散裝容器；

將散裝容器設(shè)置成借助重力從散裝容器送料的位置；

將散裝容器運送至晶體提拉裝置；

直接從散裝容器發(fā)送預(yù)定量的原材料進(jìn)入晶體提拉裝置。

2．如權(quán)利要求1所述的提供原材料的方法，其中，運送和發(fā)送原材料的步驟不將容器開啟于設(shè)備的環(huán)境空氣中。

3．如權(quán)利要求2所述的提供原材料的方法，其中，設(shè)置散裝容器以借助重力送料的步驟包括：將一種閥設(shè)置在散裝容器上；從閥驅(qū)除空氣；和將容器翻轉(zhuǎn)。

4．如權(quán)利要求3所述的提供原材料的方法，其中，輸送散裝容器的步驟包括：將容器安裝在一種動力驅(qū)動臺車上；從遠(yuǎn)離設(shè)備處接受散裝容器。

5．一種向用于生長單晶半導(dǎo)體材料的晶體提拉裝置提供原材料的設(shè)備，該設(shè)備包括：

翻轉(zhuǎn)所述原材料散裝容器的裝置；

將翻轉(zhuǎn)后的散裝容器運送至晶體提拉裝置的裝置；

提升散裝容器至一預(yù)定高度的裝置；和

使散裝容器與晶體提拉裝置連接的裝置。

6．如權(quán)利要求5所述的提供原材料的設(shè)備，其中，運送和翻轉(zhuǎn)散裝容器的裝置包括臺車，該臺車具有臂，該臂適于接受容器并獨立于容器輸送裝置單獨夾持容器，臺車具有驅(qū)動裝置用于驅(qū)動裝有容器的臺車駛至晶體提拉裝置。

7．如權(quán)利要求6所述的提供原材料的設(shè)備，其中，臺車適于提升散裝容器至預(yù)定高度，以使原材料通過重力流進(jìn)入晶體提拉裝置，且其中，將散裝容器與晶體提拉裝置連接的裝置包括一閥，該閥適于安裝在散裝容器和晶體提拉裝置上。

8．一種向用于生長單晶半導(dǎo)體材料的晶體提拉裝置提供原材料的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：

容器輸送裝置，該輸送裝置具有抓住原材料散裝容器的臂，輸送裝置能將容器從第一位置輸送至第二位置；

臺車，該臺車具有臂，該臂適于在第二位置從輸送裝置接受散裝容器，并獨立于容器輸送裝置單獨夾持容器，臺車具有驅(qū)動裝置，用于驅(qū)動裝有容器的臺車駛至晶體提拉裝置，臺車適于在一高度夾持散裝容器以使原材料通過重力流進(jìn)入晶體提拉裝置。

9．如權(quán)利要求8所述的提供原材料的系統(tǒng)，其中，容器輸送裝置包括一種引導(dǎo)裝置，該引導(dǎo)裝置可與臺車連接，用于使臺車相對于容器輸送裝置定位，容器輸送裝置和臺車適于通訊，以控制容器至臺車的輸送。

10．如權(quán)利要求9所述的提供原材料的系統(tǒng)，其中，至少臺車的所述臂之一適于繞樞軸向外旋轉(zhuǎn)，當(dāng)輸送裝置將容器從第一位置輸送至第二位置時，能從容器輸送裝置接受散裝容器，其中，輸送裝置的臂設(shè)置成可繞一水平軸線旋轉(zhuǎn)，當(dāng)容器從第一位置運動至第二位置時，用于翻轉(zhuǎn)容器。