[發明專利]行－列可尋址電微開關陣列及使用其的傳感器矩陣

無效

• 申請號: 99804732.5
• 申請日: 1999-02-02
• 公開（公告）號: CN1295722A
• 公開（公告）日: 2001-05-16
• 發明（設計）人: 俞鋼;曹鏞
• 申請（專利權）人: 優尼愛克斯公司
• 主分類號: H01L51/20
• 分類號: H01L51/20;H01L27/146
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 梁永,王忠忠

1、一種微開關陣列，包括多個電微開關，多個微開關的每個部件的形式是第一電極/半導體/第二電極層，半導體層是陣列的各部件共享的整體。

2、根據權利要求1的微開關陣列，其中多個微開關按x-y可尋址陣列構成。

3、根據權利要求1的微開關陣列，其中半導體是無機半導體。

4、根據權利要求1的微開關陣列，其中半導體是有機半導體。

5、根據權利要求2的微開關陣列，其中半導體是有機半導體。

6、根據權利要求4的微開關陣列，其中有機半導體選自共軛有機半導電聚合物、共軛有機半導電共混聚合物、半導電有機分子、半導電有機金屬分子、分子混合物或半導電有機分子及這些材料的多層結構構成的組。

7、根據權利要求1的微開關陣列，其中各電極中的至少一個是金屬電極。

8、根據權利要求1的微開關陣列，其中各電極中的至少一個包括導電有機聚合物。

9、根據權利要求1的微開關陣列，其中各電極中的至少一個包括與半導體層相鄰的緩沖層。

10、根據權利要求1的微開關陣列，其中各電極中的至少一個是透明的。

11、一種三維微開關陣列，包括多個權利要求1的陣列的疊層。

12、一種三維微開關陣列，包括多個權利要求2的陣列的疊層。

13、一種多單元電壓開關傳感器陣列，包括權利要求1的微開關陣列，陣列的各單元與多個傳感器單元的各部件串聯，所說傳感器單元響應于所探測的激勵產生電信號。

14、根據權利要求13的多單元電壓開關傳感器陣列，其中傳感器是薄層傳感器，它們自身為第一探測電極/探測半導體/第二探測電極層的形式。

15、根據權利要求14的多單元電壓開關傳感器陣列，其中探測半導體是有機半導體。

16、根據權利要求15的多單元電壓開關傳感器陣列，其中微開關和傳感器共享一個共用電極。

17、一種多單元電壓開關傳感器陣列，包括權利要求5的微開關陣列，陣列的各單元與多個傳感器單元的各部件串聯，所說傳感器單元響應于所探測的激勵產生電信號。

18、根據權利要求17的多單元電壓開關傳感器陣列，其中傳感器是薄層傳感器，它們自身為第一探測電極/探測半導體/第二探測電極層的形式。

19、根據權利要求18的多單元電壓開關傳感器陣列，其中探測半導體是有機半導體。

20、根據權利要求19的多單元電壓開關傳感器陣列，其中微開關和傳感器共享一個共用電極。

21、根據權利要求15的多單元電壓開關傳感器陣列，另外包括支撐基片。

22、根據權利要求15的多單元電壓開關傳感器陣列，其中傳感器對光敏感。

23、根據權利要求22的多單元電壓開關傳感器陣列，其中第二探測電極對要探測的光是透明的。

24、根據權利要求22的多單元電壓開關傳感器陣列，其中所說光包括可見光。

25、根據權利要求22的多單元電壓開關傳感器陣列，其中所說光包括紫外光。

26、根據權利要求22的多單元電壓開關傳感器陣列，其中所說光包括紅外光。

27、根據權利要求15的多單元電壓開關傳感器陣列，其中所說傳感器對X射線敏感。

28、根據權利要求15的多單元電壓開關傳感器陣列，其中所說傳感器探測選自電子、β粒子和γ射線輻射的高能電離粒子。

29、根據權利要求15的多單元電壓開關傳感器陣列，其中所說傳感器對表面壓力敏感。

30、根據權利要求15的多單元電壓開關傳感器陣列，其中所說傳感器對表面溫度敏感。

31、根據權利要求13的多單元電壓開關傳感器陣列，按兩維x-y可尋址形式構成。