[實用新型]大容量高分子濕敏元件

無效

• 申請號: 99244116.1
• 申請日: 1999-09-02
• 公開（公告）號: CN2397609Y
• 公開（公告）日: 2000-09-20
• 發明（設計）人: 郝光宗;邢麗緣;梁強威
• 申請（專利權）人: 清華同方股份有限公司
• 主分類號: H01L49/00
• 分類號: H01L49/00;G01N27/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型屬于傳感器領域中的濕敏元件，尤其是通過電容變化檢測氣氛濕度的濕敏元件。

高分子薄膜電容式濕敏元件是以高分子為介電質的平板電容器，它是在起支撐作用的絕緣基片上采用真空鍍膜或者濺射方法淀積上一層金屬，光刻出一定圖形作為下電極，在它的上面涂敷一層感濕高分子材料作為介電質，然后用同樣方法在介電質上面再淀積上一層極薄的金屬膜，形成上電極。上電極極薄，并具有多孔性，水分子可以自由通過。但是，這樣薄的電極，引線如何引出便是個很關鍵的問題?，F有技術中解決此問題有兩種作法，一種是在基片上布置一對叉指狀下電極或者兩個對稱的門形下電極，形成兩個串聯電容器，上電極起串聯作用，引線從基片上的兩個下電極引出。例如，中國專利公開的《耐高溫高分子濕敏元件》，ZL91223530.6號專利技術就屬于此類結構。另一種是在基片上設置一個下電極，并在下電極周邊設置一個上電極引出部分，利用光刻感濕膜辦法使蒸鍍上電極與上電極引出部分進行連接，上下電極引線也可在基片上引出。例如，中國專利公開的《薄膜電容式濕敏裝置》，ZL95222307.4號專利技術就屬于這類結構。采用第一種作法而形成的結構缺點是，因形成兩個串聯電容和減少下電極面積而使電容值變小。采用第二種作法而形成的結構缺點是，因上電極引出部分擠占了下電極的有效面積因而也使電容值變小。電容值小，易受線路處理時雜散電容的影響，給線路處理帶來麻煩，也使得濕度測量結果不夠準確。

針對現有技術中存在的缺點，本實用新型的發明目的是提供一種大容量高分子濕敏元件。它可使其在線路處理時盡量減少或消除雜散電容的影響，提高測量的準確度。

為了達到上述的發明目的，本實用新型的技術方案以如下方式實施：大容量高分子濕敏元件，它包括絕緣基片。其結構特點是，所述絕緣基片上置有一下電極和一上電極引出點的金屬薄膜。在這有下電極和上電極引出點的絕緣基片上涂敷高分子感濕膜，在與上電極引出點位置對應的感濕膜上光刻出數個小孔。感濕膜上再置有一層上電極金屬膜并通過感濕膜上的小孔與上電極引出點牢固地連接在一起。下電極的引腳點和上電極引出點焊在所設引腳座上，引腳座上安裝可包容感濕片的保護罩。

本實用新型由于有效地利用了基片面積，可使濕敏元件的電容值在50％RH處高于250PF，是現有電容元件的4倍以上。同現有技術相比，具有基礎電容量大，結構精巧、體積小、使用方便的特點。可免受線路處理雜散電容影響，大大提高測量的準確度?？梢源笈可a，有廣泛推廣使用的價值。

下面結合附圖和具體的實施方式對本實用新型做進一步的說明。

圖1是本實用新型結構圖；

圖2是本實用新型絕緣基片上的層結構分解圖。

參看圖1和圖2，大容量高分子濕敏元件，包括絕緣基片1，在絕緣基片1上采用真空鍍膜或者濺射方法淀積上一層金屬薄膜，經光刻腐蝕成如圖中所示形狀的下電極2和上電極引出點3，上電極引出點3設在其基片的右下角位置。在這有下電極2和上電極引出點3的絕緣基片1上涂敷高分子感濕膜4，感濕膜4采用纖維素類、聚酰亞胺類、環氧樹脂類和其它高分子材料，以及它們同類不同品種之間或者不同類別之間按不同比例混合的高分子材料制成。在與上電極引出點3位置對應的感濕膜4上光刻出數個小孔5。然后，在感濕膜4上再淀積上一層上電極6的金屬薄膜并通過感濕膜4上的小孔5與上電極引出點3牢固地連接在一起。下電極2的引腳點和上電極引出點3焊在所設引腳座7的引腳上。引腳座7上安裝可包容感濕片的保護罩8。本實用新型的使用方法同現有技術一樣，在此不贅述。