[發明專利]清洗鋯鈦酸鉛薄膜的方法無效
| 申請號： | 99110200.2 | 申請日： | 1999-07-07 |
| 公開（公告）號： | CN1154546C | 公開（公告）日： | 2004-06-23 |
| 發明（設計）人： | 李俊冀;金昌楨;鄭一燮 | 申請（專利權）人： | 三星電子株式會社 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;H01L21/302 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 段承恩 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 清洗 鋯鈦酸鉛 薄膜 方法 | ||
【說明書】：
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