[發明專利]光學信息記錄媒體及其制造方法

有效

• 申請號: 98109250.0
• 申請日: 1998-03-31
• 公開（公告）號: CN1198568A
• 公開（公告）日: 1998-11-11
• 發明（設計）人: 音羽真由美;山田升;大田啟之;大野銳二;河原克己
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: G11B7/24
• 分類號: G11B7/24
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 葉愷東,王岳

1.一種光學信息記錄媒體，具有光學特性可逆變化的信息層、以GeXN和GeXON中選出的任一種為主要成分的含Ge層，其特征在于所述X由從下述元素中選出的至少一種元素構成：IIIa族元素、IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、VIIa族元素、VIII族元素、Ib族元素、IIb族元素和C。

2.根據權利要求1的光學信息記錄媒體，其特征在于含Ge層接在信息層的至少一面。

3.根據權利要求1的光學信息記錄媒體，其特征在于含Ge層接在信息層的兩面。

4.根據權利要求3的光學信息記錄媒體，其特征在于信息層兩面上的含Ge層中的X含有率不同。

5.根據權利要求3的光學信息記錄媒體，其特征在于從信息層方向看，位于激光入射側的含Ge層具有用(Ge_1-mX_m)_aO_bN_c(0＜m＜1、a＞0、b≥0、c＞0、a+b+c＝100)表示的組成；位于與所述激光入射側相反的側的含Ge層具有用(Ge_1-nX_n)_dO_eN_f(0＜n＜1、d＞0、e≥0、f＞0、d+e+f＝100)表示的組成；且滿足m＜n的關系。

6.根據權利要求1的光學信息記錄媒體，其特征在于含Ge層中的Ge和X的組成比用Ge_1-kX_k(0＜k≤0.5)表示。

7.根據權利要求1的光學信息記錄媒體，其特征在于含Ge層中的(GeX)、O和N的組成比處在(GeX)、O、N三元組成圖中的組成點A((GeX)_90.0O_0.0N_10.0)、B((GeX)_83.4O_13.3N₃₃)、C((GeX)_35.0O_0.0N_65.0)、D((GeX)_31.1O_55.1N_13.8)圍成的范圍內。

8.根據權利要求7的光學信息記錄媒體，其特征在于含Ge層中包含的Ge和X的組成比用Ge_1-pX_P(0＜P≤0.5)表示。

9.根據權利要求1的光學信息記錄媒體，其特征在于含Ge層的膜厚大于1nm。

10.根據權利要求1的光學信息記錄媒體，其特征在于X包含從Cr、Mo和Mr中選出的至少一種元素。

11.根據權利要求1的光學信息記錄媒體，其特征在于X包含從Ti、Zr、Nb和Ta中選出的至少一種元素。

12.根據權利要求1的光學信息記錄媒體，其特征在于X包含從Fe、Co和Ni中選出的至少一種元素。

13.根據權利要求1的光學信息記錄媒體，其特征在于X包含從Y和La中選出的至少一種元素。

14.根據權利要求1的光學信息記錄媒體，其特征在于信息層是從Te、Se和Sb中選出的某一種元素為主要成分的相變材料。

15.根據權利要求1的光學信息記錄媒體，其特征在于信息層是以Te、Sb和Ge三種元素為主要成分的相變材料。

16.一種光學信息記錄媒體的制造方法，具有光學特性可逆變化的信息層的成膜步驟和以GeXN和GeXON中選出的某一種材料為主要成分的含Ge層的成膜步驟，其特征在于用至少含Ge和X的靶，在含有稀有氣體和氮氣的混合氣體中，用反應性濺射法來制造所述含Ge層；其中所述X是從IIIa族元素、IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、VIIa族元素、VII族元素、Ib族元素、IIb族元素和C中選出的至少一種元素。

17.根據權利要求16的光學信息記錄媒體的制造方法，其特征在于混合氣體還包含氧氣。