[發(fā)明專利]用于出現(xiàn)在電子電路部件表面上殘余物腐蝕性效果定量測(cè)量的方法和設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 98107079.5
• 申請(qǐng)日: 1998-02-23
• 公開（公告）號(hào): CN1206831A
• 公開（公告）日: 1999-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: T·L·慕森;D·O·鮑爾斯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 污染研究實(shí)驗(yàn)室有限公司
• 主分類號(hào): G01N33/00
• 分類號(hào): G01N33/00
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 張志醒,陳景峻

1.用于定量測(cè)量出現(xiàn)在電子電路部件表面上的殘余物的腐蝕性效果的一種方法，此方法包括：

a.將提取室放置在要測(cè)量的電子電路部件(“ECA”)區(qū)域上；

b.將提取液加入所述提取室；

c.利用所述提取液接觸要測(cè)量的ECA區(qū)域足以從ECA區(qū)域中提取殘余物并生成含有殘余物的液體的時(shí)間；

d.將所述含有殘余物的液體加入包括兩個(gè)或多個(gè)電極的測(cè)試室，其中含有殘余物的液體至少加入到電極之間的空間中；

e.給至少一個(gè)電極加上電壓；

f.測(cè)量電壓加上到電極之間短路之間的時(shí)間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，還包括步驟：將加上電壓到電極之間短路之間的所測(cè)量到的時(shí)間變換為從部件中提取的殘余物量的值。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述提取室和所述測(cè)試室組合為一個(gè)提取/測(cè)試室。

4.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中允許所述提取液接觸所述ECA區(qū)域2分鐘到10分鐘之間的一個(gè)時(shí)間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述電壓是在1.0V與5.0V之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述電壓是在3.0V與4.0V之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述提取液是皂化的消電離水。

8.用于定量測(cè)量出現(xiàn)在電子電路部件表面上殘余物的腐蝕性效果的一種設(shè)備，此設(shè)備包括：

(a)提取室，用于將提取液加入要測(cè)量的電子電路部件(“ECA”)區(qū)域中；

(b)提取液，用于從要測(cè)量的ECA區(qū)域中提取殘余物；

(c)測(cè)試室，具有第一電極和第二電極；所述測(cè)試室還具有用于給所述第一電極加上電壓的裝置；和

(d)用于測(cè)量加上電壓到電極之間短路之間的時(shí)間的裝置。

9.根據(jù)權(quán)利要求8的設(shè)備，其中所述提取室和所述測(cè)試室組合為一個(gè)提取/測(cè)試部件。

10.根據(jù)權(quán)利要求8的設(shè)備，還包括一個(gè)濾波器，保持所提取的殘余物并因而集中含有殘余物的提取液。

11.根據(jù)權(quán)利要求8的設(shè)備，其中所述提取液是皂化的消電離水。

12.用于定量測(cè)量出現(xiàn)在電子電路部件表面上殘余物的腐蝕性效果的一種方法，此方法包括：

a.將提取室放置在要測(cè)量的電子電路部件(“ECA”)區(qū)域上；

b.將非離子提取液加入所述提取室；

c.利用所述提取液接觸要測(cè)量的ECA區(qū)域足以從ECA區(qū)域中提取殘余物并生成含有殘余物液體的一個(gè)時(shí)間；

d.將所述含有殘余物的液體加入用于測(cè)量出現(xiàn)在含有殘余物液體中殘余物的量的測(cè)試設(shè)備中；和

e.利用所述測(cè)試設(shè)備測(cè)量出現(xiàn)在含有殘余物液體中殘余物的量。