[發明專利]隧道效應器件及其制造方法

無效

• 申請號: 97190420.0
• 申請日: 1997-03-25
• 公開（公告）號: CN1097857C
• 公開（公告）日: 2003-01-01
• 發明（設計）人: 瑟蓋·帕夫羅維奇·古賓;烏拉迪米爾·烏拉迪米羅維奇·克列索夫;伊烏格尼·瑟基維奇·蘇爾達托夫;阿逖姆·瑟基維奇·齊弗諾夫;烏拉迪米爾·維克多羅維奇·克哈尹;格納狄·伯里索維奇·克豪姆托夫;瑟蓋·阿列山德羅維奇·亞科文庫
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社;瑟蓋·帕夫羅維奇·古賓;烏拉迪米爾·烏拉迪米羅維奇·克列索夫;伊烏格尼·瑟基維奇·蘇爾達托夫;阿逖姆·瑟基維奇·齊弗諾夫;烏拉迪米爾·維克多羅維奇·克哈尹;格納狄·伯里索維奇·克豪姆托夫;瑟蓋·阿列山德羅維奇·亞科文庫
• 主分類號: H01L51/20
• 分類號: H01L51/20;H01L51/40
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 王永剛

1.一種隧道效應器件，包括用隧道勢壘分開的一個輸入、一個輸出和多個控制電極，其特征在于：該隧道勢壘和勢壘間的空間表現為形成隧道結的分子和簇的有序結構，該隧道結為器件中的單電子相關電子隧道效應創造條件，各個控制電極位于分子和簇的有序結構的區域中。

2.如權利要求1所述的隧道效應器件，其特征在于：該輸入、輸出和控制電極位于固體襯底的表面上。

3.如權利要求1或2所述的隧道效應器件，其特征在于：該襯底由石墨制成。

4.如權利要求1或2所述的隧道效應器件，其特征在于：該輸入、輸出和控制電極由金制成。

5.一種隧道效應器件的制備方法，該隧道效應器件具有在原子級平滑的固體襯底的表面上形成的一個輸入、一個輸出和多個控制電極，該制備方法包括在該襯底上形成單分子或多重單分子膜，其中，該單分子或多重單分子膜表現為帶有可固定內裝的活性分子和簇的惰性介質分子矩陣，該活性分子和簇是隧道電子的定位中心并形成單電子隧道結。

6.如權利要求5所述的用于制備隧道效應器件的方法，其特征在于：該帶有內裝的活性分子和簇的惰性介質分子矩陣使用朗繆爾-布洛杰特技術來形成。

7.如權利要求5或6所述的用于制備隧道效應器件的方法，其特征在于：用于形成惰性介質分子矩陣的是硬脂酸。

8.如權利要求5所述的用于制備隧道效應器件的方法，其特征在于：該帶有固定地內裝的活性分子和簇的惰性介質分子矩陣使用化學吸收技術來形成。

9.如權利要求5或8所述的用于制備隧道效應器件的方法，其特征在于：用于形成惰性介質分子矩陣的是硬脂酸。