[發明專利]用于制造引線框的感光膜層壓機

無效

• 申請號: 97121517.0
• 申請日: 1997-10-23
• 公開（公告）號: CN1184955A
• 公開（公告）日: 1998-06-17
• 發明（設計）人: 柳旭烈;金容男
• 申請（專利權）人: 三星航空產業株式會社
• 主分類號: G03C1/74
• 分類號: G03C1/74;G03F7/16;B32B31/08
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 張祖昌

本發明涉及感光膜層壓機在制造裝設在半導體芯片上的引線框(leadframe)時感光膜用于形成圖案，更具體來說，涉及在通過蝕刻法制造引線框時在一薄板上層壓干膜的層壓機。

引線框是半導體封裝及半導體芯片的一重要零件。引線框用作連接半導體封裝內、外的引線，也用作半導體芯片的支承。這種引線框通常是通過沖壓法或蝕刻法制造的，在沖壓法中，薄膜材料由壓床沖壓，在蝕刻法中，部分材料由化學品蝕刻。根據目前半導體芯片高度集成的趨勢，緊湊且具有微小間距的多銷引線框廣泛被采用。由多銷引線框制造程度要求高，因而一般是由蝕刻法制造的。也就是說，感光膜被履蓋在薄板表面上，用玻璃掩模使覆蓋的薄膜曝光并被蝕刻，從而制成具有預定圖案的引線框。這里，感光膜用于引線框的圖案成像，通常為其使用液體保護層或干膜保護層。對于間距微小的引線框主要采用干膜保護層，這是由于當采用液體保護層時，保護層的厚度不規則且制造起來費時間，而干膜保護層制造時間短且便于控制厚度，如圖1所示，干膜保護層借助感光膜層壓機貼附在薄板的兩表面上。

參閱圖1，在傳統的感光膜層壓機中，當薄板10被傳送設備(未畫出)送至一基框100的入口101時，一對可轉動地裝在基框100上的加壓輥110和111轉動并沿箭頭所示方向傳送薄板10，同時在其上、下表面加壓。卷繞準備送至加壓輥110和111的感光干膜20的供送輥120和121分別裝在基框100的上、下部。干膜20覆有罩層21，它被一對卷取輥130和131分離并卷繞起來。在罩層21被分離后，干膜20由加壓輥110和111熱壓而貼附在薄板10的上、下表面上。加壓輥110和111設有預熱裝置(未畫出)。

另外，如圖2所示，多個整體卷軸120a，120b和120c，每個卷繞感光干膜20，且裝在各自的供送輥120和121上。當繞在整體卷軸120a上的感光干膜20用完時，由另一卷軸120b或120c更換，從而連續地供送干膜。此時，替代的整體卷軸120b或120c需要對準位置，以便保證干膜20的供送精度。但是，這種設置使整體卷軸的位置不易調節且費時間，因而降低了工作效率。另外，當在整體卷軸位置對準中出現誤差時，干膜20在薄板10上的附貼變劣，在下一步驟如曝光中使次品數增加。另外，當繞在多個整體卷軸120a，120b和120c上的干膜20全都用完時，必須用新的一組整體卷軸更換，這會降低連續過程的效率。

另外，由于從干膜20分離的罩層21是在基框100之前收集的，因此從罩層21產生的異物會附著在正在輸送的薄板10的表面上。另外，由于干膜20只由一對加壓輥110和111貼附，薄板10和干膜20之間的接觸面積較小，因而其間的貼附強度不高。

為了解決上述問題，本發明的目的是提供一種在制造引線框中使用的感光膜層壓機，它可以增加干膜和薄板之間的貼附強度并提高制造引線框的效率。

因此，為實現上述目的提供一種用于制造引線框的感光膜層壓設備，它包括一個基框，在其前側形成連續通過薄板的入口；至少一對可轉動地裝在所述基框上的加壓輥，其用于將感光干膜熱壓在薄板的上、下表面上；可轉動地分別裝在所述薄板上、下方的供送輥，其用于向所述加壓輥供送所述感光干膜，以及一對卷取輥，其用于收集貼附在從所述供送輥供送的所述感光干膜表面上的罩層，其特征在于：所述層壓機還包括一個安裝在所述入口的預熱裝置以預熱所述薄板，所述供送輥包括一對第一供送輥和一對第二供送輥，它們安裝得與所述第一供送輥對準，用于與所述第一供送輥輪流供送所述感光干膜，所述卷取輥分別在所述第一和第二供送輥后可轉動地安裝在所述薄板的上、下方。

在該感光膜層壓設備中，預熱裝置最好包括至少一對預熱輥，其可轉動地裝在基框上以預熱后與其接觸的薄板的上、下表面所述預熱裝置最好在由所述加壓輥加熱所述材料的溫度的50-70％(℃)的溫度下預熱所述薄板。

現在對照以下附圖詳述本發明的優選實施例，進一步闡述本發明的上述目的和優點。

圖1的剖視圖示意地表示用于層壓感光膜的傳統層壓機；

圖2的平面圖表示在圖1所示感光膜層壓機中輥的設置狀態；

圖3是剖視圖示意地表示按照本發明的感光膜層壓機；以及

圖4的平面圖表示圖3所示本發明的感光膜層壓機中輥的設置狀態。

現在參閱圖3，標號200代表其中可轉動地裝有多個輥的基框，標號10代表制造引線框的帶狀薄板。薄板10借助供帶軸(未畫出)和卷取軸(未畫出)連續地送入基框200。標號201代表入口，薄板10通過它進入基框200。入口201設有一個預熱裝置，其用于預熱薄板10。