[發明專利]應用聲表面波元件(OFW元件)的壓力傳感器

無效

• 申請號: 97121432.8
• 申請日: 1997-09-13
• 公開（公告）號: CN1178902A
• 公開（公告）日: 1998-04-15
• 發明（設計）人: H·謝爾;G·斯科爾
• 申請（專利權）人: 西門子公司
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 蕭掬昌,葉愷東

1、應用聲表面波元件(OFW元件)并將之裝在壓力接收膜形變不相同的位置上的壓力傳感器，其特征在于：在壓力接收膜(2)上構成有至少3個反射器(4，5，6)的反射式OFW延遲線(2-6，8)，這些反射器既分布在壓力接收膜(2)的膨脹區，也分布在其壓縮區。

2、如權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：用作壓力接收膜(2)的是OFW延遲線(2-6，8)的壓電襯底。

3、如權利要求1和(或)2所述的壓力傳感器，其特征在于：OFW延遲線有3個反射器(4，5，6)，其中第一反射器(4)裝在壓力接收膜(2)的膨脹區，第二個反射器(5)裝在壓力接收膜(2)的壓縮區，第三個反射器(6)裝在第一和第二反射器(5，6)之間。

4、如權利要求3所述的壓力傳感器，其特征在于：第三反射器(6)裝在壓力接收膜(2)的膨脹區與壓縮區之間的中性過渡區。

5、如權利要求1至4中任何一項所述的壓力傳感器，其特征在于：

所裝第四反射器(8)與第一、第二或第三反射器(4，5，6)靠得很近，因而在最大壓力時這些反射器(例如4，8)上反射的聲表面波之間產生的相移最大為360°。

6、如權利要求1至4中任何一項所述的壓力傳感器，其特征在于：

第四反射器(8)大致裝在第一、第二、第三反射器(4，5，6)中兩個反射器(4，6)之間的中心。

7、如權利要求1至6中任何一項所述的壓力傳感器，其特征在于：

反射式延遲線(2-6，8)的反射器(4，5，6，8)以唯一一條聲道安裝在壓力接收傳感器(2)上。

8、如權利要求1至6中任何一項所述的壓力傳感器，其特征在于：

反射式延遲線的反射器(4，5，6)裝在至少2個由環行器(9)耦合的聲道上。

9、如權利要求1至8中任何一項所述的壓力傳感器，其特征在于：構成可由無線電遠距訪問的傳感器，其反射式延遲線(2-6，8)的一輸入/輸出叉指式換能器(3)與接收訪問信號并發射回答信號的天線相耦合。