[發明專利]半導體器件輸送和裝卸設備

無效

• 申請號: 97119340.1
• 申請日: 1997-08-23
• 公開（公告）號: CN1063266C
• 公開（公告）日: 2001-03-14
• 發明（設計）人: 菅野幸男;清川敏之
• 申請（專利權）人: 株式會社愛德萬測試
• 主分類號: G01R31/01
• 分類號: G01R31/01;H01L21/66;B65G47/91
• 代理公司: 柳沈知識產權律師事務所
• 代理人: 李曉舒

1．一種半導體器件輸送和裝卸設備，其中搬運頭從裝載了多個半導體器件的料盤中抓住一個或多個半導體器件，并將其輸送至所期望的位置，其特征在于所述設備包括：

用于測量所述料盤高度的定位裝置；

高度差計算裝置，用于計算裝載于所述料盤上的多個半導體器件的水平高度與基于由所述定位裝置確定的高度值的參考高度值之間的差；

高度差存儲裝置，用于存儲由高度差計算裝置計算的在半導體器件水平高度與所述參考高度值之間的高度差；

讀取裝置，一旦確認了某個半導體器件，則從所述高度差存儲裝置讀出準備由所述搬運頭輸送的具體半導體器件相應于所述參考高度值的高度差；以及

高度差校正裝置，用于根據所述器件相對于從所述高度差存儲裝置讀出的所述參考高度值的高度差，來校正所述被確認的半導體器件的水平高度，使其等于所述參考高度值。

2．根據權利要求1所述的半導體器件輸送和裝卸設備，其特征在于，所述料盤支承在可垂直移動的料盤臺上，使所述高度差校正裝置構造成：根據相對于從所述高度差存儲裝置讀出的所述參考高度值的高度差，來驅動用于垂直移動所述料盤臺的升降裝置，并校正所述料盤上所述被確認的半導體器件的水平高度，以便與所述參考高度值一致。

3．根據權利要求1所述的半導體器件輸送和裝卸設備，其特征在于，料盤組由按層垂直堆疊的多個料盤組成，其上承載有多個半導體器件的每個料盤支承在可垂直移動的料盤臺上，所述搬運頭用來把位于最上面的料盤上的半導體器件輸送至所期望的位置，使所述高度差校正裝置構造成：根據相對于從所述高度差存儲裝置讀出的所述參考高度值的高度差，來驅動用于垂直移動所述料盤臺的升降裝置，并校正所述最上面料盤上所述被確認的半導體器件的水平高度，以便與所述參考高度值一致。

4．根據權利要求2所述的半導體器件輸送和裝卸設備，其特征在于，所述定位裝置包括四套光傳感器，每套包括位于預先選定的位置的發光元件和光接收元件，以便能檢測所述料盤的四個角中相關的一個角的水平高度。

5．根據權利要求3所述的半導體器件輸送和裝卸設備，其特征在于，所述定位裝置包括四套光傳感器，每套包括位于預先選定的位置的發光元件和光接收元件，以便能檢測所述料盤臺上的所述料盤組中最上面料盤的四個角中相關的一個角的水平高度。

6．根據權利要求4所述的半導體器件輸送和裝卸設備，其特征在于，在由所述升降裝置移動料盤臺以提升所述料盤臺上的料盤期間，所述定位裝置檢測料盤的四個角遮斷相應的光傳感器的發光元件輻射的光射線的順序，并確定該料盤在其向上移動中從第一光遮斷到第二個光遮斷、第二光遮斷到第三光遮斷、和第三光遮斷到第四光遮斷的移動距離。

7．根據權利要求5所述的半導體器件輸送和裝卸設備，其特征在于，在由所述升降裝置移動料盤臺以提升所述料盤臺上的料盤組期間，所述定位裝置檢測所述料盤組的最上面料盤的四個角遮斷相應的光傳感器的發光元件輻射的光射線的順序，并確定該料盤在其向上移動中從第一光遮斷到第二光遮斷、第二光遮斷到第三光遮斷、和第三光遮斷到第四光遮斷的移動距離。

8．根據權利要求1所述的半導體器件輸送和裝卸設備，其特征在于，所述搬運頭裝有一個或多個拾取頭，每個拾取頭構造為能吸引和抓住所述料盤中的半導體器件以用于輸送。

9．根據權利要求8所述的半導體器件輸送和裝卸設備，其特征在于，所述拾取頭具有安裝于其下部的吸盤以用于垂直移動，所述高度差校正裝置構造為：根據相對于從所述高度差存儲裝置讀出的參考高度值的高度差，來校正位于所述料盤的所述被確認的半導體器件的水平高度，使其與所述參考高度值一致，以便當所述搬運頭下降一預定距離拾取所述料盤中所述被確認的半導體器件時，所述吸盤前端與料盤中所述被確認的半導體器件的頂表面接觸。

10．根據權利要求8所述的半導體器件輸送和裝卸設備，其特征在于，所述高度差校正裝置構造為：根據相對于從所述高度差存儲裝置讀出的所述參考高度值的高度差，來校正位于所述料盤中所述被確認的半導體器件的水平高度，使其與所述參考高度值一致，以便當所述搬運頭下降一預定距離拾取所述料盤中所述被確認的半導體器件時，所述拾取頭前端與所述料盤中所述被確認的半導體器件的頂表面稍微接觸。

11．根據權利要求2或3所述的半導體器件輸送和裝卸設備，其特征在于，所述定位裝置包括三套光傳感器，其中兩套光傳感器包括位于預先選定的位置的發光元件和光接收元件，以便能檢測料盤的沿對角線相對置的兩個角的水平高度，而另一套包括位于預先選定的位置的發光元件和光接收元件，以便能在穿過該料盤中心并基本垂直于料盤的相對兩側的方向上測量該料盤的水平高度。