[發(fā)明專利]準(zhǔn)分子激光器振蕩設(shè)備和方法及曝光設(shè)備和激光管有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 97119293.6 | 申請日： | 1997-07-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1150665C | 公開（公告）日： | 2004-05-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 大見忠弘;田中信義;平山昌樹 | 申請（專利權(quán)）人： | 大見忠弘;佳能株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | H01S3/08 | 分類號(hào)： | H01S3/08;H01S3/22;H01S3/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人： | 蔣世迅 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 準(zhǔn)分子激光 振蕩 設(shè)備 方法 曝光 激光管 | ||
【權(quán)利要求書】：
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H01S3-00 激光器，即利用受激發(fā)射對(duì)紅外光、可見光或紫外線進(jìn)行產(chǎn)生、放大、調(diào)制、解調(diào)或變頻的器件
H01S3-02 .結(jié)構(gòu)零部件
H01S3-05 .光學(xué)諧振器的結(jié)構(gòu)或形狀；包括激活介質(zhì)的調(diào)節(jié)；激活介質(zhì)的形狀
H01S3-09 .激勵(lì)的方法或裝置，例如泵激勵(lì)
H01S3-098 .模式鎖定；模式抑制
H01S3-10 .控制輻射的強(qiáng)度、頻率、相位、極化或方向，例如開關(guān)、選通、調(diào)制或解調(diào)
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