[發(fā)明專利]復(fù)合靶體及其制作方法

無效

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• 申請日: 1997-08-01
• 公開（公告）號: CN1057572C
• 公開（公告）日: 2000-10-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 沙健;馬向陽;焦正寬;葛洪良
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 浙江大學(xué)專利代理事務(wù)所
• 代理人: 張法高

1.一種復(fù)合靶體，其特征在于它具有靶芯[1]和靶材[2]，經(jīng)涂布靶材溶液或溶膠或者涂布靶材糊狀物通過熱處理涂覆而成，所說的靶芯材料為耐高溫剛性材料，靶材為氧化物功能陶瓷材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種復(fù)合靶體，其特征在于所說的耐高溫剛性材料為石英玻璃或陶瓷或金屬或合金材料，氧化物功能陶瓷材料為鐵電材料或氧化物高溫超導(dǎo)材料或氧化物磁光材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種復(fù)合靶體，其特征在于所說的靶材厚度為0.1～1mm。

4.一種上述復(fù)合靶材的制作方法，其特征在于按如下步驟制作：

a.制作靶芯，采用耐高溫剛性材料按復(fù)合靶體形狀制作靶芯；

b.制備靶材，采用溶膠-凝膠法或熱分解法或金屬有機物熱分解法，按照靶材所需化學(xué)組份配制溶液或溶膠，或者采用溶膠-凝膠法或水熱法或共沉淀法或固相反應(yīng)法，按照靶材所需化學(xué)組份，制備小于320目靶材粉末，再加入分散劑、增塑劑和粘結(jié)劑，形成靶材糊狀物；

c.涂布靶材，采用提拉法或甩膠法或超聲噴霧法，將上述溶液或溶膠涂布在上述的靶芯上，經(jīng)烘烤干燥在靶芯表面形成薄膜，再重復(fù)涂布和烘烤，直到靶芯表面沉積的靶材厚度為0.1～1mm，或者，將上述靶材糊狀物涂布在上述靶芯上，靶材涂布厚度為0.1～1mm；

d.靶材熱處理，把沉積有靶材的復(fù)合靶體放進熱處理爐內(nèi)進行熱處理，熱處理溫度為400～600℃，熱處理時間為2～4小時，或者把涂布有靶材糊狀物的復(fù)合靶體放進燒結(jié)爐內(nèi)燒結(jié)，燒結(jié)溫度為800℃～1200℃。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種上述復(fù)合靶體的制作方法，其特征在于：

所說a.制作靶芯中，耐高溫剛性材料為石英玻璃或陶瓷或金屬或合金；

所說b.制備靶材中配制溶膠是按靶材化學(xué)組份，先用金屬氧化物制成鹽溶液，然后將幾種鹽溶液混合，形成靶材化學(xué)組份所需金屬離子的混合鹽溶液，再將高分子聚合物加入上述混合鹽溶液，充分攪拌，最后形成溶膠；

所說c.涂布靶材中，用提拉涂布法時，把靶芯浸入溶膠，然后，開動調(diào)速電機，把靶芯以1～10cm/min的速度從溶膠中緩慢拉出，在靶芯表面沉積一層溶膠薄膜，用加熱器對薄膜加熱烘烤至干燥，周而復(fù)始，直到靶芯表面的靶材厚度為0.1～1mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種上述復(fù)合靶體的制作方法，其特征在于所說的靶材為氧化物功能陶瓷材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種上述復(fù)合靶體的制作方法，其特征在于所說的氧化物功能陶瓷材料為鐵電材料或氧化物高溫超導(dǎo)材料或氧化物巨磁阻材料或氧化物磁光材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的一種上述復(fù)合靶體的制作方法，其特征在于所說的高分子聚合物為聚乙二醇或聚乙烯醇或聚丙烯醇或聚乙二胺。

9.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的一種上述復(fù)合靶體的制作方法，其特征在于所說的分散劑為天然魚油或乙醇或聚羧酸鹽或聚丙烯酸鈉鹽或低分子量的堿性聚酰胺，增塑劑為硬脂酸丁酯或乙酸三甘醇羧甲基纖維素油或羥乙基纖維素，粘結(jié)劑為聚乙烯酯縮丁醛或聚丙烯脂酸。