[發明專利]拉單晶裝置無效
| 申請號： | 97101020.X | 申請日： | 1997-01-10 |
| 公開（公告）號： | CN1134560C | 公開（公告）日： | 2004-01-14 |
| 發明（設計）人： | 熱海貴;田口裕章;降屋久;喜田道夫 | 申請（專利權）人： | 三菱麻鐵里亞爾硅材料株式會社;三菱麻鐵里亞爾株式會社 |
| 主分類號： | C30B15/12 | 分類號： | C30B15/12 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 馬鐵良;蕭掬昌 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拉單晶 裝置 | ||
【權利要求書】：
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