[實(shí)用新型]真空系統(tǒng)用石英活性氣體發(fā)生裝置無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 96229301.6 | 申請(qǐng)日： | 1996-02-13 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN2273314Y | 公開(kāi)（公告）日： | 1998-01-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王善忠;許頤璐;楊建榮;俞錦陛;姬榮斌;巫艷;郭世平;何力 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C30B35/00 | 分類(lèi)號(hào)： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 上海華東專利事務(wù)所 | 代理人： | 高毓秋 |
| 地址： | 200083*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 真空 系統(tǒng) 石英 活性 氣體 發(fā)生 裝置 | ||
1.一種真空系統(tǒng)用石英活性氣體發(fā)生裝置，包括等離子體發(fā)生部分、接口及氣路，其特征在于：
a.由減壓閥2一端連接氣源1，另一端通過(guò)氣路3順序連結(jié)角閥7和漏閥8；真空漏閥8通過(guò)波紋管9聯(lián)接石英管狀反應(yīng)腔4，石英管狀反應(yīng)腔4的另一端面燒結(jié)有凹形瀉流孔12；石英管狀反應(yīng)腔4通過(guò)接口與超高真空系統(tǒng)13相聯(lián)結(jié)；
b.石英管狀反應(yīng)腔4與超高真空系統(tǒng)13的連接接口密封結(jié)構(gòu)由氟橡膠圈14被不銹鋼套15與法蘭16的劈狀擠壓塊及石英管狀反應(yīng)腔側(cè)面三者擠壓后構(gòu)成；
c.在石英管狀反應(yīng)腔4兩端分別與不銹鋼氣路及超高真空系統(tǒng)的連接處設(shè)有水冷套10和11，水冷套10、11與石英管狀反應(yīng)腔4之間的間隙中填有金屬銦；
d.在石英管狀反應(yīng)腔4的外部耦合有射頻輻射線圈5，射頻輻射線圈5用空心銅質(zhì)材料做成，線圈導(dǎo)線用水冷卻，射頻輻射線圈5用氟塑料支柱6支撐于機(jī)架上，保持與石英管狀反應(yīng)腔4之間無(wú)接觸。
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