[實用新型]一種高純氬氣分析儀

無效

• 申請號: 96225848.2
• 申請日: 1996-04-10
• 公開（公告）號: CN2285900Y
• 公開（公告）日: 1998-07-08
• 發明（設計）人: 朱道乾;王清海;周良模;張菜榮;劉玉敏
• 申請（專利權）人: 中國科學院大連化學物理研究所
• 主分類號: G01N30/00
• 分類號: G01N30/00
• 代理公司: 中國科學院沈陽專利事務所
• 代理人: 汪惠民

本實用新型提供一種用于檢測高純氬氣的色譜分析儀。

為檢測高純氬氣的雜質，工業生產制氬氣中采用氬氣色譜分析儀。與本實用新型相近的技術如美國化學文擇File?399111，208，20和File?399?107，206，703。其中前者文獻僅報導了一種預處理裝置，而后者文獻雖然報導了這種檢測裝置，但該分析儀只能分析氧氣。目前也有用于檢測高純氬氣的分析儀，但國內的產品(A84-1型高純氬氣分析儀)靈敏度低，使用壽命短。而國外產品(AL-800型高純氬氣分析儀)雖然靈敏度高，但銷價高昂。

本實用新型的目的是提供一種用于檢測高純氬氣成分的色譜分析儀。這種儀器具有高靈敏度和高穩定性，且結構簡單，操作方便，檢測迅速。

本實用新型高純氬氣分析儀的氣路部分是采用雙色譜柱、雙閥切換系統，進樣裝置采用背壓閥升壓進樣技術，而氬離子化檢測器采用改性的檢測器，以提高分析儀的檢測靈敏度。具體地說本實用新型中的氬離子化檢測器是由池體、摻雜室、放射源和收集極四部分組成。檢測器的摻雜室內有一進入有機物的噴入口，貯存在有機物物罐中的有機物通過泵計量的將有機物料注入到摻雜室內與通過色譜柱進入摻雜室的分析載氣進行混合，即完成載氣中摻雜有機物，由于載氣中含有一定量的有機物，提高了檢測器的檢測靈敏度。本實用新型的分析儀的其它部分可按傳統的分析儀進行設計。

在上述分析儀中，摻雜的有機物為C₃～C₂₂的烷烴，有機物的摻雜量為使載氣中有機物的濃度為30～300ppm，檢測器放射源采用Ni-63放射源，極化電壓選擇為300～600伏直流電壓，分析儀使用過程中載氣流量控制在20～60ml/min。

下面通過附圖和實例對本實用新型所提供的技術給予進一步地說明。

附圖1為本實用新型氬離子化檢測器部分的結構示意圖。圖中1.有機物罐；2.色譜柱；3.檢測器；31.池體；32.摻雜室；33.放射源；34.收集極；4.直流電源；5.信號放大器；6.流量計。本實用新型中檢測器以外的結構同公知的雙柱、雙閥結構的氣譜分析儀相似，可按公知技術進行設計。

利用附圖1所示結構的改性氬離子化檢測器組裝成的氬氣分析儀可作為本實用新型的一個實施例。其有機物罐1中可貯存有用于摻雜到載體中的有機物C₃～C₂₂的烷烴，檢測器(3)的池體(31)內前端設有摻雜室(32)，貯存有機物的有機物罐(1)與摻雜室(32)上有一通路，色譜柱(2)末端與摻雜室(32)相連。分析時通過計量泵將有機物射入摻雜室32中，與通過色譜柱2的分析載氣混合摻雜到載氣中。摻雜室32位于檢測器3池體31的前端，檢測器(3)的放射源33采用Ni-63放射源，由直流電源4提供極化電壓為300～600V直流電壓，由收集極34得到的檢測信號通過信號放大器5放大后由顯示器表示出。分析后的載氣從池體31流出，經流量計6放出，完成分析過程。

實施例2高純氬氣分析儀的應用

利用實例1的分析儀，其中使用高純氬氣為載氣，流量為25ml/min，色譜柱1：13X分子篩，60-80目，柱長1米，內徑3mm不銹鋼柱，柱2：PQ，80-100目，長1米，內徑3mm。摻雜有機物丁烷，在載氣中濃度150ppm，該儀器可在數分鐘之內檢測出高純氬氣中的六種雜質，其六種雜質的最小檢測濃度分別為H₂：0.3；O₂：0.23：_N2：0.43；CH₄：0.07，CO：1.5；CO₂：0.09(單位為×10^-6V/V)。

由上述實例，本實用新型所提供的高純氬氣分析儀具有高穩定性和靈敏度，檢測操作方便迅速，可用于對五個″9″級高純氬氣的生產和質量的監控。