[實用新型]氣墊式襯底旋轉裝置

無效

• 申請號: 96222433.2
• 申請日: 1996-12-11
• 公開（公告）號: CN2294269Y
• 公開（公告）日: 1998-10-14
• 發明（設計）人: 馬可軍;匡定波;何進;俞振中;沈壽珍;許平
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: C30B25/00
• 分類號: C30B25/00
• 代理公司: 上海華東專利事務所
• 代理人: 高毓秋

1.一種氣墊式襯底旋轉裝置，包括基座、氣墊、轉軸、旋片及有關進排氣口，其特征在于：

a.整個裝置用石墨材料加工而成；

b.所說的基座(1)近臥式半圓柱狀，近中間底部開有螺紋(105)，用以配旋調節螺釘(5)與氣墊(2)；在基座平面一側與螺紋(105)同軸設置帶臺階圓腔(104)，供氣墊2經螺紋(105)配旋后埋入，臺階(106)供擱置旋片(4)，在基座一端面與臺階(104)間分別開有二道基座排氣口(102)，在排氣口(102)的下部，由基座端面至螺紋(105)開通有一道基座進氣口(101)；??

c.所說的氣墊(2)，近蘑菇狀，其上面平臺中心設置軸套(202)，近中心均勻分布三個噴氣口(201)，每一噴氣口再連接一個渦旋狀的導氣槽(205)；下部柱體外側有螺紋與基座配旋，柱體內腔(203)與三個噴口(201)貫通，在柱體底端一側置有一半圓孔(204)，柱體內腔(203)和半圓孔(204)與基座進氣口(101)相通；

d.所說的旋片(4)呈圓片狀，其上圓面具有凸環形邊緣，供置放襯底，其下圓面設置有多條輻射狀氣流槽(402)，中心設置有軸套(401)，軸套(401)于氣墊的軸套(202)間安裝轉軸(3)。