[實用新型]透明導電膜平面磁控濺射靶板

無效

• 申請號: 96220998.8
• 申請日: 1996-08-27
• 公開（公告）號: CN2280717Y
• 公開（公告）日: 1998-05-06
• 發明（設計）人: 莊孝忠;李春先;何巍;葉云;郭冰;李毅;周衛華
• 申請（專利權）人: 深圳市創益科技發展有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 深圳市專利服務中心
• 代理人: 張藝影

1.一種透明導電膜平面磁控濺射靶板，由陶瓷層、連接層及金屬背板所組成，其特征是：所述陶瓷層是由ITO陶瓷塊通過連接層(2)與金屬背板(3)連接，且形成ITO陶瓷層(1)，在ITO陶瓷層(1)的接合面縫隙處有一絕緣耐高溫層(7)：所述連接層(2)是由過渡層(4)、保護層(5)及焊接層(6)組成.且由絕緣耐高溫層(7)和銦錫合金層(8)構成ITO陶瓷層(1)接合面上的過渡層(4)。

2.根據權利要求1所述的一種透明導電膜平面磁控濺射靶板，其特征是：所述焊接層(6)的四周邊緣與銅背板(3)表面邊緣有一定距離，焊接層(6)與保護層(5)鄰接。

3.根據權利要求1所述的一種透明導電膜平面磁控濺射靶板，其特征是：所述ITO陶瓷層(1)是由已燒結好的ITO陶瓷板按所需尺寸拼裝而成的平面矩形ITO濺射靶材。

4.根據權利要求1所述的一種透明導電膜平面磁控濺射靶板，其特征是：所述在ITO陶瓷層(1)的接合面縫隙處粘貼的是絕緣耐高溫膠帶(7)。