[發明專利]清潔裝置和清潔方法

無效

• 申請號: 96193656.8
• 申請日: 1996-03-08
• 公開（公告）號: CN1183062A
• 公開（公告）日: 1998-05-27
• 發明（設計）人: W·R·帕萊;S·J·帕萊;D·W·庫佩爾;P·B·魯說;J·C·沙雷;H·D·西格爾曼;R·M·阿馬比勒
• 申請（專利權）人: 特克斯懷普有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B65D33/00;B65D35/08;B65D35/22;B65D37/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 周備麟,林長安

本發明涉及清潔裝置和清潔方法，具體涉及用于清潔“超凈室”、半導體制造廠、藥物制造間以及其它必須保持超純凈的地方和環境的清潔裝置和清潔方法。

本專利申請是1995年3月10日提交的美國專利申請序號08/402113的部分繼續申請。

半導體制造的超凈室、藥物制造間和類似場所中對于保持其清潔度的要求是非常嚴格的。

在制造半導體的超凈室中，必須經常用超純凈的擦拭巾和清洗液擦拭各有關表面以防污染。將被控制的這種污染物通常稱作“微量污染物”，因為這種污染物是由有形的細小污染物組成，例如大小在細菌和病毒尺寸之間的微粒污染物，以及例如一般以百萬分之幾或十億分之幾計的極低濃度的化學污染物。

這樣的污染物通常有三種類型：粒子式的、離子式的和作為從擦拭巾纖維中浸出的雜質“提出物”??(“extractables”)。

要提高生產率并獲得可靠的半導體器件，尺寸在100μm或更小的松散粒子是最令人擔憂的。因此利用在這種超潔凈室中的擦拭巾和清潔用材料只應當散發出數目盡可能少的松散粒子。

同樣，離子和“提出物”也會干擾制造半導體的嚴格工藝，因此必須將其量減至最小。

過去是用一種特別制造的基本上不會散發松散粒子的布來滿足這種要求，這種布在用清洗液浸濕后擦拭待清潔的表面時可以保持其結構的整體性。

這種擦拭巾通常裝在密封的容器、例如柔性塑料袋中，這種袋可以打開，取出擦拭巾，隨后再密封。然后將裝在獨立容器中的清洗液涂敷到取出的擦拭巾上，用擦拭巾進行擦拭。

上述方法的問題是必須貯存大量的有時是危險的化學溶劑并將這種溶劑涂敷到擦拭巾上。這樣可能會引起事故或造成有害于工人健康的工作環境。

另一個問題在于，當工人將獨立容器中的清洗液涂敷到干的擦拭布上時，清洗液通常不是倒得太少就是倒得太多，太少則不利于擦凈，太多又造成過飽和和浪費。

針對后一問題，現在已開發出預先浸透清洗液的擦拭巾并已在市場上成功地出售。這種擦拭巾預浸有不等數量的清洗液并裝在一個可再密封的塑料袋中，直到需要用時才取出。取出時，將袋打開，取出一塊或多塊擦拭巾，然后將袋子重新封上。如此重復直到用完這一袋。

本發明的發明人已經認識到，裝有這種預浸透擦拭巾的塑料袋在使用之前常常可能已貯存了很長的時間，例如幾個月或甚至幾年。在貯存期間，清洗液和擦拭巾材料處于彼此直接接觸的狀態。這常常導致擦拭巾材料中的纖維的降解，因而造成在使用時擦拭巾散發的污染物量顯著高于它最初裝在袋中時所能散發的量。可以認為，由于清洗液和擦拭巾的長期接觸，降低了將微粒保持在纖維上的約束力，并使釋放出的離子和提出物的量增加。

另外，例如在一些擦拭巾包裝袋的可再密封裝置中，常利用粘合劑將塑料包裝袋的各部分固定在一起，此時，粘合劑會因與清洗液長期接觸而退化。本發明人已經注意到，這便限制了對所用粘合劑的選擇。

在清洗藥物制造間或其它醫用裝置時，其中一個問題在于要保持預浸透擦拭巾中所含生物殺傷劑的有效性。本申請人已經認識到，生物殺傷劑會因其與擦拭巾材料的長期接觸而導致其功能退化。

本發明的目的是去解決或緩和上述問題，具體而言，要求提供一種超凈的清潔用涂抹巾或擦拭巾，這種擦拭巾僅在使用之前才加上清洗液，而不會有在現場從貯存用的獨立容器中倒出清洗液的危險。

具體地說，本發明要求提供這樣一種用于清潔超凈室和藥物制造間等的擦拭巾和使用該擦拭巾的方法，其中的清洗液在加到擦拭巾上之后便立即使用，從而可防止擦拭巾和清洗液長期接觸。

按照本發明，提供了一種清洗包來達到上述目的，該清洗包包括：一個不滲透液體的外容器，該外容器包括至少一片且優選的多片清洗用涂抹巾或擦拭巾；以及裝在內容器中的清洗液。內容器和外容器最好是塑料袋，而該包最好包括多個擦拭巾。設置有用于將裝在外袋內的內袋破開的裝置，以便釋放出內袋中的清洗液來供擦拭巾吸收。內袋最好是易破裂的。

在使用上述包的清潔方法中，該包與密封在內容器中的清洗液一起貯存到需要使用時。為將清洗液加到擦拭巾上，最好用手通過外容器的材料向內容器施加壓力以將內容器戳穿并使清洗液釋放到擦拭巾上。此時，擦拭巾便吸收清洗液，然后打開包裝容器，取出一片或多片擦拭巾而用于擦拭有關的表面。

外袋最好重新封上，以免留在袋中的擦拭巾受到污染并且盡量減少清洗液的蒸發。

采用這種清洗包和清潔方法可以大大減少清洗液和擦拭巾材料彼此接觸的時間，因此可以減少產生額外污染的機會或減少清洗液變質的可能性。