[發明專利]一種金屬表面硫化處理方法

無效

• 申請號: 96114217.0
• 申請日: 1996-12-20
• 公開（公告）號: CN1158909A
• 公開（公告）日: 1997-09-10
• 發明（設計）人: 官明喜;嚴京偉;方曉東
• 申請（專利權）人: 北京市朝陽達威新技術實驗廠
• 主分類號: C23C8/36
• 分類號: C23C8/36
• 代理公司: 北京市科技專利事務所
• 代理人: 蔣旭榮

1.一種金屬表面硫化處理方法，在真空爐內設置陽極板和陰極板，并連接300V至1000V高壓直流電源，金屬工件放置在反應室內的陰極板上，真空泵使爐內壓力達到0.1至100pa的工作真空度，利用輝光放電使金屬工件升溫，并利用固體硫作滲劑，其特征在于金屬工件先于固體硫揮發達到硫化溫度，

(1)在真空爐的反應室內不安裝加熱裝置，把固體硫發生裝置放置在陰極板的邊緣，將金屬工件放置在陰極板的中央，使固體硫發生裝置距離爐內陽極板的距離大于金屬工件距陽極的距離，當爐內壓力到達工作真空度后，首先啟動直流高壓電源在陽極板和陰極板之間施加高壓電場，形成輝光放電，此時金屬工件處于強輝光區，固體硫發生裝置處于弱輝光區，輝光放電使氣體中正離子轟擊金屬工件，使之先期到達硫氣化溫度，而后是硫氣體揮發，在輝光放電下，使金屬工件表面形成硫化物層，

(2)在真空爐內設置多個固體硫發生裝置，每個固體硫裝置都帶有電加熱器，金屬工件置于陰極板上，而固體硫發生裝置安裝位置則沒有限制，當啟動直流高壓電源在陽極板和陰極板之間施加高壓電場后，在工作真空度下形成輝光放電，使金屬工件溫度升高，達到硫化溫度后，根據工件滲硫過程的需要，分別啟動固體硫發生裝置的電加熱器，使固體硫分別氣化，在輝光放電下，金屬工件表面得到硫化物層，

(3)在真空爐內設置一個與反應室隔開的硫揮發室，有管路與反應室連通，在硫揮發室內安裝一個帶電加熱器的固體硫發生裝置，同時反應室內設置電加熱器，當真空爐內壓力到達工作真空度后，先啟動直流高壓電源形成輝光放電加熱金屬工件，并通過陽極板加熱器對整個反應室加熱，當金屬工件和反應室都加熱至硫化溫度后，再開啟固體硫發生裝置的電加熱器，使硫揮發室的固體硫氣化揮發通過管路進入反應室，在反應室內形成氣體動態平衡，從而使放置在陰極板上的金屬工件在輝光放電下其表面形成硫化物層。

2.根據權利要求1所述的金屬表面硫化處理方法，其特征在于：所述固體硫發生裝置加熱器及反應室加熱器為交流電加熱器或直流電加熱器。

3.根據權利要求1所述的金屬表面硫化處理方法，其特征在于：所述輝光放電使工件溫度升高的范圍是達到固體硫氣化溫度低于金屬工件的回火溫度。