[發明專利]能夠輸出單一諧波的光柵位移測量裝置

無效

• 申請號: 94106704.1
• 申請日: 1994-07-08
• 公開（公告）號: CN1100803A
• 公開（公告）日: 1995-03-29
• 發明（設計）人: 王春海;張國雄
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 天津大學專利代理事務所
• 代理人: 李素蘭,張銳

1、一種能夠輸出單一諧波的光柵式位移測量裝置，有光源，并位于聚光鏡的焦面上，聚光鏡發出的準直光束，依次通過彼此相鄰的黑白主光柵和指示光柵，以及光電接收裝置，其中黑白主光柵和指示光柵的刻線相互傾斜或者方向一致，并具有與運動部件相聯結的手段，其特征是，所說的指示光柵為光柵的刻線的光強透過率按正弦函數變化的正弦指示光柵。

2、按照權利要求1所說的能夠輸出單一諧波的光柵式位移測量裝置，其特征是，黑白主光柵與正弦指示光柵均采用線性光柵，正弦指示光柵至少有一塊刻劃區域沿刻線刻劃垂直的方向滿足：

其中，x為沿與光柵刻線垂直方向的坐標，x的取值范圍為光柵的連續刻劃區域;

τ（x）為光柵刻線的光強透過率;

τm為常數;

j = - 1 ]]>

d為光柵刻線間距。

3、按照權利要求1所說的能夠輸出單一諧波的光柵式位移測量裝置，其特征是所說的黑白主光柵和正弦指示光柵均采用徑向光柵，其中正弦指示光柵至少有一塊刻劃區域滿足：

l ( θ ) = Σ m = - 1 + 1 l m e × p ( Ωθm ω ) ]]>

其中，θ為光柵沿圓周方向的角度坐標，θ的取值范圍為光柵的連續刻劃區域;

τ（θ）為光柵刻線的光強透過率;

τ_O，τ₁為常數;

ω為光柵刻線角間距。