[發明專利]高分辨率鑒相式容柵位移傳感器及其制作方法

無效

• 申請號: 93118916.0
• 申請日: 1993-10-17
• 公開（公告）號: CN1047436C
• 公開（公告）日: 1999-12-15
• 發明（設計）人: 趙飚
• 申請（專利權）人: 趙飚
• 主分類號: G01B7/02
• 分類號: G01B7/02
• 代理公司: 廣西壯族自治區專利服務中心
• 代理人: 來光業

1．一種高分辯率鑒相式容柵位移傳感器，它包括主柵和副柵，其特征在于：采用玻璃或陶瓷作基片，用多層布線法制出柵片，柵片做有金屬引腳，并通過連線與電路板相連，柵板中發射極分布在接收極兩側，副柵的節距與主柵對應。

2．一種如權利要求1所述的高分辨率鑒相式容柵位移傳感器的制作方法，其特征在于先在玻璃或陶瓷基片表面蒸鍍一層金屬層，做出柵條圖形，然后再在金屬層上制作一層絕緣層，在絕緣層上相對于第一層金屬層連接處開窗口，再在絕緣層上蒸鍍第二層金屬層，做出連線圖形，最后在除引出腳處的整個柵片工作面涂敷保護層，并將引腳用連線與電路板相連。

3．根據權利要求1所述的高分辯鑒相式容柵位移傳感器，其特征在于在柵片上同組兩路柵條中，有一路柵條直接在柵條面連接，引至側邊，再通過絕緣層上的一個窗口，引至連接面，另一路的各柵條則通過絕緣層的窗口在連線面相通。