[發明專利]微小極間距電容式力敏傳感器及其制造方法

無效

• 申請號: 93118056.2
• 申請日: 1993-10-09
• 公開（公告）號: CN1042858C
• 公開（公告）日: 1999-04-07
• 發明（設計）人: 胡耿
• 申請（專利權）人: 胡耿
• 主分類號: G01L1/14
• 分類號: G01L1/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種微小極間距的電容式力敏傳感器，包括膜片、邊框、定極板、可動極板，其特征在于還包括支架，所述的邊框沿膜片四周與膜片封成一體，或者邊框與膜片本身為一個整體；邊框和膜片的一側表面鍍有導電層；所述的可動極板的一側表面鍍有導電層，并用導電玻璃熔封材料將可動極板封在所述的膜片的圓心部位；所述的支架封在邊框上，所述的定極板的一側表面鍍有導電層，并用導電玻璃熔封材料將定極板封在所述的支架上；定極板上的導電層與可動極板的導電層相對。

2、如權利要求1所述的力敏傳感器，其特征在于所述的膜片相對于邊框薄得多；所述的定極板和邊框之間設置有環形電極；參考電極板的一側鍍有導電層。

3、如權利要求1所述的力敏傳感器，其特征在于其中所述的定極板和邊框之間設置有環形參考電極，所述的支架包括橫向支架和軸向支架，軸向支架設置在橫向支架和定極板之間。

4、如權利要求1所述的力敏傳感器，其特征在于其中所述的邊框和膜片的圓周部份鍍有導電層；所述的可動極板用熔封玻璃將其封結在膜片的圓心部位，可動極板園周附近的側面鍍有導電層。

5、如權利要求1所述的力敏傳感器，其特征在于其中所述的支架為園柱形，支架的表面鍍有導電層，支架與膜片封在一起；所述的定極板有二個以上，中心帶孔，一側鍍有導電層，定極板與邊框封在一起；所述的動極板有二個以上，中心帶孔，表面鍍有導電層，動極板與支架封在一起；定極板與動極板相互間隔設置。

6、如權利要求1所述的力敏傳感器，其特征在于其中所述的支架為厚圓板形，所述定極板的一個端面緊貼在支架一側平面上，并用熔封玻璃固定；邊框與支架之間用釬焊密封。

7、如權利要求1所述的力敏傳感器，其特征在于其中所述的支架為帶凹坑的厚圓板形，定極板導電層位于此凹坑內，邊框與定板板用釬焊封結。

8、如權利要求1所述的力敏傳感器，其特征在于所述的支架為帶凹坑的厚圓板，定極板導電層位于凹坑內，邊框與定極板用釬焊封結膜片上帶有凸起。

9、如權利要求1所述的傳感器，其特征在于所述的動極板由導電熔封玻璃固定在從膜片中心凸起的支架上，支架上的導電層和膜片及邊框內側的導電層連通；所述的定極板是帶多個缺口的圓形薄片，上面蒸鍍上導電層，該導電層與動極板上的導電層處于相對位置，兩定極板的引線分別通過定極板上的缺口引出。

10、一種制造如權利要求1所述的力敏傳感器的方法，其特征在于制造過程包括以下各步驟：

(1)用機械研磨或p-n結自致停腐蝕的方法制造膜片；

(2)用靜電封結的方法或使用熔封玻璃將膜片與邊框封結到一起；

(3)用真空鍍膜的方法在邊框和膜片的一個表面蒸鍍一層導電層；

(4)用導電玻璃熔封材料將一面已蒸鍍上一層金屬膜的可動極板封在膜片內表面的圓心部位；

(5)在可動極板上設量隔墊物；

(6)在隔墊物上疊放定極板；

(7)將支架放在定極板上；

(8)在支架與定極板、邊框的相接處涂上熔封玻璃；

(9)將整個工件放入爐內升溫至400℃～700℃，使熔封玻璃或釬焊料充分熔化；

(10)降溫后取出工件，除去隔墊物。

11、一種如權利要求6所述的制造方法，其特征在于其中所述的支架先與膜片封在一起，然后將隔墊物放置在膜片上；在支架上套上一面涂有導電層和NaCl的定極板，在邊框與定極板的相接處涂上導電熔封玻璃；將表面涂上導電層的可動極板通過支架置于定極板上，定極板的NaCl層與可動極板導電層相對；在支架與可動極板的相接處涂上導電熔封玻璃；依此步驟，將隔墊物、定極板、可動極板依次疊放；整個工件升溫熔封；降溫后除去隔墊物，并洗凈NaCl。